판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235073

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 반도체 응용 프로그램을위한 asher/etcher입니다. 고급 플라즈마 에치 (Plasma Etch) 기술과 유연성과 확장성을 모두 제공하는 모듈식 아키텍처를 제공하는 강력한 도구입니다. NOVELLUS Vector는 고효율 다중 마그네트론 소스를 사용하여 최적의 플라즈마 프로파일 균일성을 달성합니다. 3 챔버 아키텍처는 빠른 웨이퍼 프로세스 측 (HDP-PR) 변경을 가능하게합니다. LAM RESEARCH Vector의 고속 정전기 척 (ESC) 웨이퍼 처리 장비를 통해 에치 균일성과 처리량을 향상시킬 수 있습니다. ESC 시스템은 또한 넓은 영역 에칭 중에 웨이퍼 병렬 처리 (wafer parallelism) 를 개선 할 수있는 기울기 메커니즘을 포함합니다. 벡터는 또한 에치 레이트와 엔드 포인트 정확도의 변동성을 모니터링하는 포괄적 인 Endpoint (EPD) 감지 장치를 갖추고 있습니다. CHF3 에치 속도 및 선택성을 향상시키기 위해 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 가스 소개 매니 폴드 (manifold) 및 고속 펄싱 유형 가스 셔터를 포함하는 고급 가스 생산 기계를 사용합니다. NOVELLUS Vector의 자동 가스 패널 프로그래밍 튜닝은 최적의 에치 (etch) 프로세스를 신속하게 적용할 수 있도록 합니다. 웨이퍼의 상단 및 하단 표면에서 LAM RESEARCH Vector의 CCD 기반 비전 도구는 식별 정확도와 해상도가 높습니다. 이 듀얼 뷰 CCD 에셋은 전면 및 후면 모두 정확한 etch 위치 및 etch 영역 측정을 제공합니다. 또한 Vector 는 강력한 모델 모니터링 기능으로, 신속한 유지 보수 및 환경 데이터 수집/분석 기능을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 다양한 외부 진단 기능을 포함하여 고급 하드웨어 및 소프트웨어 수준의 진단 기능을 제공합니다. 따라서 모든 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. NOVELLUS Vector는 광범위한 리소그래피, 에치 및 증착 프로세스에 성공적으로 배치되었습니다. LAM 리서치 벡터 (LAM RESEARCH Vector) 의 고급 기능을 활용하면 대용량 생산 라인에서 복잡하고 단순한 프로세스에 etcher를 활용할 수 있습니다. Vector는 고객에게 최고의 유연성, 높은 처리량 및 향상된 프로세스 제어를 제공합니다.