판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9227340

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 에처/애셔 도구입니다. 그것은 석영, 실리콘, 특정 금속과 같은 기질의 고정밀 플라즈마 에칭을 가능하게하는 환경 공정 챔버입니다. NOVELLUS Vector는 2 개의 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 하나의 표준 소스 (13.56MHz RF 생성기) 와 저주파 RF 전원인 스위처블 소스 (옵션) 입니다. 이 두 "플라즈마 '원 은 여러 가지" 에치' 화학 물질 을 가지고 있는 여러 가지 물질 을 식각 할 수 있게 해 준다. 또한 고출력 RTA (Rapid Thermal Annealing) 챔버를 특징으로하여 기질의 열 처리가 빨라집니다. LAM RESEARCH Vector에는 다양한 에칭 도구로 만드는 몇 가지 기능이 있습니다. 수직 디자인은 균일 한 에칭 환경을 제공하는 반면, 자체 조정 단계는 다른 기판 형태에 맞게 정렬하고 조정하는 데 사용됩니다. 또한 여러 가지 가공 화학 물질 을 최대화 하기 위한 자동 "밸브 '와" 웨이퍼' 를 표적 "에치 '깊이 에 맞추기 위한 정밀 운동" 컨트롤러' 를 갖추고 있다. 또한, Vector에는 프로세스 시간과 깊이를 정확하게 제어하는 정교한 스캔 알고리즘이 있습니다. 자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩을 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector의 고급 에칭 기능은 다양한 프로젝트에 이상적인 도구입니다. 정확도와 제어가 결합된 최적의 에치 품질을 제공합니다. 자가 조절 플라즈마 소스를 통해 연산자는 에칭 밀도와 레시피를 쉽게 조정할 수 있으며, 효율적이고 효과적인 처리 결과를 제공합니다. 게다가, 고속 열 처리 (fast thermal processing) 기능은 소형 처리 주기를 가능하게하며, 다음 프로세스에 대한 기판이 신속하게 준비되도록 합니다. 전반적으로 NOVELLUS Vector etcher/asher는 사용자 친화적 인 고급 에치 시스템입니다. 이 제품은 빠른 열 어닐링 (thermal annealing) 및 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 와 결합된 고정밀 플라즈마 에칭 기능으로 반도체 제조 프로젝트에 적합합니다. 다재다능한 기능으로 LAM RESEARCH Vector는 매우 안정적이고 효과적인 에칭 도구입니다.