판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9294398

ID: 9294398
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
CVD System, 12" Process: SiN / SiO 2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme은 정확한 에칭 및 어닐링 작업을 위해 설계된 금속 에칭 머신입니다. 이 제품은 고급 반도체 패키징 및 컴포넌트 제작을 위한 마이크로 디테일 (micro-detail) 요구 사항을 갖춘 컴포넌트를 만드는 데 이상적입니다. NOVELLUS Vector Extreme (NOVELLUS Vector Extreme) 은 단일 시스템에서 4 개의 독립적 인 웨이퍼 스캔 단계를 사용하여 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 완전 자동화 장비입니다. 알루미늄, 구리, 텅스텐, 티타늄과 같은 금속을 타의 추종성, 정확성 및 신뢰성으로 식각 할 수 있습니다. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME은 강력한 8 축 로봇 암을 사용하여 100 분의 1 미크론 정도의 공차를 가진 레이어를 어닐링하고 에칭 할 수 있으며, 최대 3nm 측면 속도로 이동할 수 있습니다. 이렇게 하면 기본 레이어 (layer) 를 최소화하여 원하는 레이어를 빠르고 정확하게 제작할 수 있습니다. 기화 된 금속의 반복성과 정확한 제어는 마이크로 패키징 응용 프로그램 (micro-packaging application) 을위한 신뢰할 수있는 옵션입니다. LAM RESEARCH Vector Extreme (LAM RESEARCH Vector Extreme) 에는 기계의 설정, 작업 및 모니터링을 위한 포괄적인 정보를 제공하는 기능이 풍부한 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 사용자 친화적인 인터페이스를 사용하면 냉각 (cooling) 단계를 비롯한 모든 에칭 (etching) 및 어닐링 (annealing) 프로세스의 모든 단계를 모니터링하여 일관되고 안정적인 운영 결과를 보장할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME은 깨끗하고 호환 된 운영 환경을 보장하도록 설계된 독특한 기화 된 금속 폐수 제어 장치를 사용합니다. 기화 된 금속 폐수는 공기에서 모든 미립자 및 가스 오염 물질을 제거하는 다중 여과 시스템 (multiple filtration systems) 을 사용하여 여과되어 에칭 및 어닐링 과정과 관련된 건강 및 환경 문제의 위험을 줄입니다. VECTOR EXTREME (VECTOR EXTREME) 은 DRAM600 CE 플랫폼을 기반으로 하여 다양한 어플리케이션에 안정적인 작동성과 확장성을 제공합니다. 이 플랫폼은 가장 까다롭고 적대적인 환경에서 안정적인 운영을 보장하는 이중화 (예비) 기능을 제공합니다. RoHS 규격을 준수하며, 다른 구성 요소 생산 시스템과 통합하여 다양한 반도체 (semiconductor) 및 산업 응용프로그램 (industrial application) 에 빠르고 안정적인 제조를 제공하는 완전한 머신을 만들 수 있습니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 은 안정적이고 경제적인 패키지에서 놀라운 정확성과 반복성을 제공하는 고성능 에칭 앤 어닐링 (etching and annealing) 툴입니다. 유연성, 정확성, 완전한 패키지는 모든 에칭 및 어닐링 작업에 완벽한 솔루션이 됩니다.
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