판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9270881

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme은 현대 반도체 처리를 위해 특별히 설계된 에처 및 애셔입니다. 고급 반도체를위한 최고의 멀티 스테이션 플라즈마 에치 도구입니다. NOVELLUS Vector Extreme의 디자인은 정밀하고 높은 처리량에 최적화되었습니다. 이 제품은 수직/수평 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 어플리케이션에 모두 사용할 수 있는 유연하고 구성 가능한 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이러한 유연성을 통해 특정 애플리케이션의 타겟 사양을 충족하도록 장비를 사용자 정의할 수 있습니다. 고해상도 광학 시스템은 플라즈마를 정확하게 제어하여 정확한 에칭 (etching) 및 재 (ash) 프로세스를 지원합니다. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME에는 안정적이고 반복 가능한 플라즈마 처리를 제공하는 고성능 RF 유도 발전기가 장착되어 있습니다. 고급 벡터 (advanced vectoring) 기능을 통해 RF 생성기를 웨이퍼 단계에 빠르고 정확하게 정렬하여 처리 수율이 향상됩니다. 벡터 장치 (vectoring unit) 는 또한 플라스마에 입자와 다른 오염 물질의 일관된 배치를 보장하여 불균일 한 에칭 및 재 결과를 방지하는 데 도움이됩니다. 또한 VECTOR EXTREME (VECTOR EXTREME) 에는 특정 에칭 및 애쉬 레시피에 대한 작동 매개변수를 정확하게 튜닝 할 수있는 가스 믹싱 콘솔이 장착되어 있습니다. 이 기계는 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장합니다. 또한, 가스 믹싱 스테이션 (gas mixing station) 은 플라즈마 발전기 (plasma generator) 에 사용되는 가스의 순도를 모니터링하고 처리 중에 발생할 수있는 문제를 진단하는 데 사용될 수있다. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME은 자동 자체 청소 도구로 빠르고 쉽게 유지 관리합니다. 이 자산은 다운타임을 줄이고, 모델의 안정성과 성능을 향상시키도록 설계되었습니다. 마지막으로, LAM RESEARCH Vector Extreme (LAM RESEARCH Vector Extreme) 은 다양한 고급 센서 및 컨트롤러와 호환되므로 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 장비를 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, NOVELLUS VECTOR EXTREME은 고정밀도 및 고 처리량 반도체 제작 프로세스를 가능하게하도록 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 벡터링 (vectoring), 고속 유지 보수 (fast maintenance), 가스 혼합 (gas mixing) 과 같은 고급 기능을 통해 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 고해상도 광학 시스템을 사용하면 정확한 에칭 및 재 프로세스를 위해 플라즈마를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로, 다양한 컨트롤러 (컨트롤러) 및 센서와의 호환성은 사용자가 프로세스 요구 사항을 충족하도록 장치를 사용자 정의하는 데 도움이 됩니다.