판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767046

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme은 고급 전기 화학 및 물리적 증기 증착 응용을 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 성능과 품질이 완벽하게 조합된 NOVELLUS 벡터 익스트림 (NOVELLUS Vector Extreme) 은 높은 처리량과 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 레시피 매개변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있습니다. 정밀 모션 장비 (precision motion equipment) 와 디지털 시스템 (digital system) 은 에칭 프로세스의 뛰어난 정밀도와 반복 성을 제공하여 가장 복잡한 웨이퍼 기판에서 고밀도 이미징을 가능하게합니다. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME은 뛰어난 이미징 속도를 제공하여 결함이 낮고 형태가 우수하며 처리 속도가 빠릅니다. 이 장치는 시간당 최대 4,200 웨이퍼 (wafer) 의 처리율을 제공하며, 정확한 프로세스 제어를 통해 사용자가 정확성과 반복성으로 프로세스 레시피를 구현할 수 있습니다. 다중 소스 에칭, 이중 대상 이온 밀링, 화학 증기 증착 (CVD) 등 여러 프로세스 구성을 수용 할 수있는 공정 챔버가 특징입니다. 하이엔드 에치 애플리케이션의 과제를 해결하기 위해 NOVELLUS VECTOR EXTREME은 고속 다중 소스 인젝터 및 대체 이중 마그네트론 플라즈마 소스로 설계되었습니다. 특허를 획득한 코어 기술이 적용된 VECTOR EXTREME 머신은 동급 최고의 에처/애셔 성능을 제공합니다. 이 도구의 첨단 대화식 실시간 제어 (interactive, real-time control) 기술은 빠른 반응 시간과 주파수 (Frequency) 및 듀티 사이클 (Duty Cycle On-the-Fly) 과 같은 중요한 매개변수를 조정하는 기능을 제공합니다. 개방형 루프 (open-loop) 모션 에셋은 운동학적 성분을 ± 0.25 äm 이내로 포지셔닝할 수 있으며, 통합 비전 모델은 챔버에서 목표를 포지셔닝 할 때 높은 정밀도를 보장합니다. VCA (Vision Based Control and Analysis Software) 를 사용하면 프로세스 매개 변수를 손쉽게 관리할 수 있으며, 장비의 고급 자동화 소프트웨어를 통해 복잡한 레시피를 빠르고 효율적으로 구축할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Extreme 시스템은 또한 고급 모니터링 및 진단 기능을 제공하여 가동 시간과 프로세스 품질을 보장합니다. 프로세스 모니터링 기능 내장, 이 장치는 챔버 성능에 대한 즉각적인 피드백을 제공하는 반면, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 사용하기 쉬운 설치 및 레시피 관리 기능을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME 머신은 모든 반도체 안전 규정을 준수하여 운영자에게 안전한 작업 환경을 제공합니다. 결론적으로 Vector Extreme etcher/asher는 안정적이고 사용하기 쉬운 패키지에서 뛰어난 성능과 품질을 제공합니다. 첨단 실시간 제어 (real-time control) 기술, 빠른 반응 시간 (reaction time) 및 정확한 동작 도구 (motion tool) 를 통해 복잡한 구조를 속도 및 정확도로 제작하여 고급 에치 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.