판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293754606

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 다목적 에처 및 애셔로, 생산을 통해 기판을 빠르고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 세밀한 이미징 기능을 제공하면서 처리량과 운영 효율성이 뛰어난 고속 (High-Speed) 장비입니다. NOVELLUS Vector Express는 다중 특허, 고밀도 RF 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 장착하여 개선 된 공정 수율을 위해 챔버 압력 및 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 가장 까다로운 어플리케이션에 대한 최적의 프로세스 반복성을 달성하는 유연한 가변 압력 (variable-pressure) 옵션을 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 아크 감지 장치 (arc detection unit) 로 구성되어 과부하를 방지하고 효율적인 재료 활용을 지원합니다. 자동화된 프로세스 제어 및 실시간 피드백은 높은 충실도 균일성과 뛰어난 세밀한 해상도를 제공합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 의 고성능 RF 발전기는 성능 저하 없이 기판의 에칭을 최적화하도록 쉽게 조정할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 ashing, etching 및 reactive ion etching (RIE) 을 포함한 다양한 응용 프로그램을 처리하기에 충분히 다재다능합니다. 이 기계는 대규모 유전체, 폴리 실리콘 및 질화물 필름의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 무적의 필름 (unpatterned film) 에 대한 탁월한 단계 범위를 제공하며 고급 장치 구성 요소 제조에 적합합니다. NOVELLUS Vector Express에는 최적의 에치 성능을 보장하는 실시간 챔버 내 (in-chamber) 진단을 제공하는 고급 프로세스 모니터링이 장착되어 있습니다. 이 도구의 사용자 인터페이스는 신속한 운영 시작을 위해 직관적인 터치 스크린 제어를 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 안전성과 작동성을 극대화하기 위해 특수 진동 흡수 메커니즘으로 구성됩니다. 자산에는 낮은 프로파일 (profile) 이 있어 유지 보수에 쉽게 액세스할 수 있고, 설치 공간을 단축하여 소중한 운영 공간을 효율적으로 사용할 수 있습니다. 결론적으로, 노벨 러스 (NOVELLUS) 의 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 다양한 고급 기판 재료에 대한 최적의 에칭 프로파일을 제공하기 위해 특별히 설계된 뛰어난 에처 및 애셔입니다. RF 생성기는 높은 정확도를 유지하도록 쉽게 조정할 수 있으며, 고급 프로세스 모니터링 시스템은 탁월한 실시간 피드백 (feedback) 및 진단 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express (LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express) 는 안전하고 간편한 운영을 위해 로우 프로파일로 인체 공학적으로 설계되었으며, 자동화된 제어 기능을 통해 효율적인 생산 처리량을 보장합니다.