판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293625417

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme은 플라즈마 처리, 고급 챔버 디자인 및 정전기 차폐 지그 기술을 결합하여 유연성, 성능 및 생산성을 제공하는 에처 및 애셔입니다. 탁월한 프로세스 제어 및 구성 기능을 갖춘 NOVELLUS Vector Extreme 은 프런트엔드 및 백엔드 반도체 구성 프로세스에 적합합니다. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME은 600mm 높은 종횡비와 6 구역 균형 챔버를 가지고 있으며, 전극력이 낮아 유전체 균일성 및 에치 프로파일 제어가 향상되었습니다. 또한 독특한 고주파 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 우수한 에치 속도 균일성, 비용 효과 및 최소화 된 스퍼터링을 달성합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME은 또한 최고의 균일 성 및 식각 속도 기능을 위해 고유 한 ECR (Electron Cyclotron Resonance) 소스를 사용합니다. ECR 소스는 터치 장치 및 집적 회로의 호출 플러그를 최소화하고, 부산물을 줄이고, 재료 특성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 은 또한 이중 실리콘 카바이드 정전기 차폐 지그와 양방향 지그 회전을 특징으로하여 오염을 최소화합니다. LAM RESEARCH Vector Extreme (LAM RESEARCH Vector Extreme) 은 또한 조절 가능한 압력과 가변 플루언스 제어를 가지고 있으며, 적절한 프로세스 튜닝을 통해 세계적 수준의 처리량과 우수한 수율을 제공 할 수 있습니다. 실리콘, 구리, 게르마늄, 실리사이드, 텅스텐, 질화물 등 다양한 물질의 증착, 에칭 및 재에 이상적입니다. 고급 제어 소프트웨어를 사용하면 VECTOR EXTREME (VECTOR EXTREME) 을 손쉽게 튜닝 및 모니터링하여 최적의 프로세스 안정성, Control Set Point 및 Profiling, 다운타임 최소화 및 생산성 향상을 보장할 수 있습니다. NOVELLUS VECTOR EXTREME (NOVELLUS VECTOR EXTREME) 은 처리량 향상과 탁월한 프로세스 제어 기능으로 인해 대용량 애플리케이션을 위한 이상적인 에칭 및 애싱 솔루션입니다.