판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9412146

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 에칭 및 에치 프로세스를 사용하여 고정밀 패턴화 및 에치 처리를 지원하는 고성능 에처/애셔입니다. 이 다양한 장비는 최신 기술과 LAM의 유명한 NOVELLUS Vector Express etch 프로세스를 결합합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 처리 균일성, 정확성, 처리량을 향상시키고 가장 복잡한 지형 및 형상까지 고밀도 제조할 수 있도록 설계되었습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 에는 최고의 에치 성능과 향상된 사용자 환경을 제공하는 수많은 기능과 디자인 요소가 포함되어 있으며, 자동화된 시스템 교정, 고급 필름 증착 (advanced film deposition), 에칭 제어 소프트웨어, 눈에 띄는 사용자 인터페이스 등의 최첨단 기능이 있습니다. 이러한 기능을 통해 유닛은 탁월한 etch 일관성, 균일성을 제공하며, 도구 유지 관리 및 프로세스 최적화에 소요되는 시간을 최소화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 레시피 생성/설정 (Recipe Generation and Setup) 기능을 자동화하고 포괄적인 통합 프로세스 모니터링 도구를 제공합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 센서와 프로세스 진단 시스템 (process diagnostics system) 을 사용하여 프로세스 매개변수를 감지하고 응답하여 각 응용 프로그램에 대한 최적의 머시닝 매개변수에 맞게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 재료를 통해 고정밀도 에치 (etch) 할 수 있으므로 비용이 많이 드는 수동 설정 및 교정이 필요하지 않습니다. NOVELLUS Vector Express는 안정적이고 사용하기 쉬운 통합 웨이퍼 처리 도구를 제공합니다. 웨이퍼 처리 자산은 단단히 밀봉되고 깨끗한 챔버 (chamber), 당황한 배기 흐름 (exhaust flow), 최적화된 기판 및 받침대 설계 (pedestal design) 를 제공하여 원치 않는 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. LAM 의 직관적인 SmartCart (TM) 모델 덕분에 Wafer 처리는 간단하고 효율적으로 이루어집니다. 즉, 기판의 올바른 위치에 wafer 를 배치할 수 있습니다. 이 장비는 강력한 소프트웨어 플랫폼 (Software Platform) 으로 구동되며, 사용자는 레시피를 손쉽게 생성, 저장, 로드할 수 있으며, 표준 및 전용 에치 프로파일을 모두 지원합니다. 에치 프로세스의 사용자 정의는 LAM의 내장형 Process Expert (TM) 소프트웨어를 사용하여 쉽고 직관적으로 이루어집니다. 즉, 즉석에서 에치를 최적화할 수 있습니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자는 레시피를 빠르게 개발하고 나중에 사용할 수 있도록 신속하게 저장할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Vector Express는 업계를 선도하는 에치 성능과 효율성을 제공하는 강력하고, 안정적이며, 사용자 친화적인 에치/애셔 시스템입니다. 고정밀도 에칭 (etching) 을 위한 완벽한 도구이며, 업계에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.