판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9401496

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express
ID: 9401496
빈티지: 2010
CVD System 2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 반도체 장치 제조의 정밀 요구 사항을 충족하도록 설계된 etcher/asher 장치입니다. 이 장비 는 고출력 "가스 제트 '를 이용 하여, 원하는" 패턴' 을 만들기 위하여 장치 의 층 을 재빨리 떼어낸다. 강력한 가스 제트 (gas jet) 는 에칭 (etching) 과정에 대한 높은 정확성과 미세한 제어를 가능하게하여 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 자동 에칭 시스템으로, 운영자 감독을 최소화하여 복잡한 에칭 및 청소 작업을 실행할 수 있습니다. 이 장치는 고급 감지 및 제어 (advanced sensing and control) 기술을 사용하여 에칭 프로세스의 다양한 매개변수를 모니터링합니다. 이 모니터링 및 피드백 제어를 통해 에칭 (etching) 절차의 정확한 제어 및 정확성을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 에칭 중 웨이퍼의 정확한 조작을위한 고해상도 진공 척 (high-resolution vacuum chuck) 과 에칭 (etched) 장치의 빠르고 효율적인 청소를위한 고압 버너 (high-pressure burner) 를 특징으로합니다. LAM RESEARCH Vector Express (Vector Express) 는 모듈식 구성요소 설계를 통해, 특정 요구 사항을 충족하는 툴을 빠르고 쉽게 재구성할 수 있습니다. 에칭 (etching) 프로세스를 중단하지 않고 에셋이 실행되는 동안 모듈을 추가하거나 제거할 수 있습니다. 이러한 다양성을 통해 사용자는 모델을 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다 (영문). 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 매우 견고하고 안정적인 장비로, 운영자와 시스템 자체의 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능이 통합되어 있습니다. 이 장치에는 자체 진단 (self-diagnosis) 및 장애 복구 시스템 (fault recovery machine) 이 포함되어 있어 발생할 수 있는 문제를 신속하게 인식하고 수정할 수 있습니다. 또한, 모든 내부 컴포넌트가 작동 중 순서대로 유지되도록 공구가 차폐되고 냉각됩니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 매우 정확한 표준을 위해 일할 수있는 고급 etcher/asher입니다. 이 장치는 강력한 가스 제트 (gas jet), 고급 감지 및 제어 기술, 모듈식 컴포넌트 설계 (modular component design) 를 활용하여 사용자가 정확한 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 자산은 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 통합하고 견고하고 안정적이며, 작동 중에 운영자와 장치가 안전하게 유지됩니다.
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