판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9390434

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 처리에 사용되는 다중 챔버, 최첨단 배치 에처/애셔 장비입니다. 여러 미디어 머신 (media machine) 주기를 동시에 실행할 수 있는 완전 자동 배치 프로세스 (fully automated batch process) 를 통해 처리량과 정확도를 높일 수 있습니다. 이 시스템에는 컴퓨터 제어 작업이있는 3 개의 독립적 인 챔버, 사용자 정의 챔버 압력 컨트롤 및 미세 튜닝 전원을 위한 고출력, 가변 주파수 RF 생성기가 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 협동 에칭을 가능하게합니다. 이는 하나의 에치 챔버가 비활성 질소 (에칭 용) 또는 활성 산소 (청소 용) 를 번갈아 공급하는 혁신적인 과정입니다. 이 장치에는 RIE (Reactive-ion etching) 기술, 임베디드 산소 플라즈마 소스를 사용한 현장 청소, 프로그래밍 가능한 드라이 에치 프로세스 등 다양한 에칭 및 청소 도구가 포함됩니다. 이렇게 하면 원치 않는 재료 레이어 (layer of material) 를 제거하고 원하는 도체 (conductor) 를 극히 정확하게 배치할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express의 높은 정확도 동작 제어는 정확한 프로세스 반복성을 보장합니다. 이것은 컴퓨터의 고급 데이터 처리 (advanced data handling) 기능으로, 프로세스의 실시간 분석 및 피드백을 제공하여 운영자가 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스를 최적화하고 제어할 수 있도록 합니다. 이 도구는 웨이퍼 리프터 (wafer lifter) 와 같은 장비의 재싱 (ashing) 과 빈번한 청소가 필요한 반도체 장비 (semiconductor equipment) 에도 사용될 수 있습니다. 재싱 (Ashing) 은 용매가 있는 수동 클리닝 (manual cleaning) 보다 훨씬 더 통제된 프로세스를 가능하게 합니다. 즉, 부품에 대한 손상도 없이 정밀하게 불필요한 잔류를 제거하기 때문입니다. Vector Express (Vector Express) 는 사용자에게 최적의 안전성을 제공하기 위해 추가 모니터링 모듈을 장착하여 유해 가스 누출 또는 기타 안전하지 않은 상태를 확인합니다. 마지막으로, 동급에서 가장 친환경적인 에처 (etcher) 로서, 자산에는 유해 가스가 안전하게 관리되고 필터링되도록 통합 배기 모델이 있습니다.