판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9378305

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 범용 etcher/asher로, 다양한 반도체 장치 구조의 중대량 생산에 이상적입니다. NOVELLUS Vector Express는 강력한 필름 증착 장비와 독특한 레이저 패턴화 프로세스를 갖추고 있으며, 뛰어난 스텝 커버리지와 정확한 라인 충실도를 제공합니다. 이 시스템은 모든 주요 저항 화학 물질과 호환되며, 플라즈마 에치 (etch) 및 고급 포토 esist 제거 옵션을 모두 가능하게합니다. LAM RESEARCH Vector Express (LAM RESEARCH Vector Express) 는 또한 사용자에게 포괄적인 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공하는 새로운 프로세스 컨트롤러를 제공합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 커패시터, 트랜지스터 및 기타 고급 장치 구조에 중점을 둔 높은 수율 생산을 위해 제작되었습니다. 이 장치에는 200mm 처리 플랫폼 (웨이퍼의 효율적인 로드, 전송 및 언로드) 과 다양한 프로세스 레시피가 포함됩니다. 레시피 생성기 (recipe generator) 를 사용하면 사용자 지정 레시피를 신속하게 개발할 수 있으며, 프로세스 최적화를 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 주기 시간을 최소화하면서 처리량 및 프로세스 수율을 최대화하도록 설계되었습니다. 특수 에치 응용 프로그램 및 벌크 에치 프로세스를위한 고정밀, 고 처리량 챔버가 특징입니다. 이 시스템은 배치 및 클러스터 구성에서 모두 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 고유 한 레이저 패턴 처리 (laser patterning process) 를 사용하여 고전적인 포토 esist 제거 기술을 제거하고 최소 선폭 변형을 갖는 정확한 에치 패턴을 제공합니다. NOVELLUS Vector Express는 또한 두 가지 유형의 추적 카트리지를 통합하여 최적의 추적 간격, 선 정확도 및 패턴 충실도를 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 광범위한 하드웨어/소프트웨어 툴로 구동되어 최고의 제어 및 자동화 기능을 제공합니다. 여기에는 강력한 레시피 생성기, 통합 프로세스 매개변수 제어 모듈 (integrated process parameter control module), 고급 데이터 로깅 및 분석 패키지 (모두 사용자가 에칭 프로세스를 관리하고 최적화할 수 있음) 가 포함됩니다. Vector Express는 ISO 14644-1 Class 5 및 Class 7을 포함한 다양한 클린 룸 환경에서 사용하도록 인증되었습니다. 종합적인 설계와 엄격한 테스트를 통해 높은 성능, 안정적인 생산성, 향상된 신뢰성을 보장하여 커머셜 (commercial) 및 리서치 등급 (research-grade) 애플리케이션에 적합합니다.