판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9372786

NOVELLUS의 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 기판의 정밀한 미세 구조 및 조작이 필요한 정밀 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 etcher/asher 플랫폼입니다. 미립자 침투, 통합 가스 및 화학 전달 장비, 고급 스캐닝 및 초점 이온 빔 (FIB) 기능을 줄이기 위해 절연 된 표준 진공 챔버가 특징입니다. NOVELLUS Vector Express는 또한 UV 빛에 노출되지 않고 좁은 경로를 에칭하기 위해 일련의 얕은 채널을 자동으로 생성하는 독특한 기판 스텝 표면 소프트웨어를 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 또한 레이저/빔 위치 피드백 시스템, 고급 포지셔닝 메커니즘, 자동 SWAS (Substrate Wafer Alignment System) 및 제어 환경 공기 냉각 장치 등 다양한 고급 툴링 및 모니터링 기능을 포함합니다. 통합 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 을 사용하면 최적의 에칭 조건을 위해 화학 조성, 압력, 온도와 같은 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 이온 빔 광학 (ion beam optics) 으로 인해 비길 데 없는 정확도와 정밀도를 제공하여 복잡한 패턴을 식각 할 수 있습니다. 또한, 고급 프로세스 제어 도구는 자동으로 에칭 매개 변수를 조정하고 유지합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 기판 선택, 자동/수동 정렬, 매개변수 선택 등 다양한 도구와 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express의 성능은 다중 평면 가스 흐름 자산, 빠른 유전체 가드 링 디레이 어링 프로세스, 강화 된 습식 에치 기술로 더욱 향상되었습니다. 이 모델에는 프로그래밍 가능한 노즐 헤드 (nozzle head) 배열이 포함되어 있어 사용자가 한 번에 여러 에칭 기술에 액세스 할 수 있습니다. 마지막으로, LAM RESEARCH Vector Express에는 에칭 후 데이터 분석 및 모니터링을 위한 다양한 기능이 포함되어 있어 프로세스 제어가 향상되고 검사 시간이 단축됩니다.