판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9362218

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 구조의 정확한 에칭 및 재시를 가능하게하는 고급 에처/애셔입니다. NOVELLUS Vector Express는 고급 기술을 사용하여 기존 에치 프로세스보다 최대 10 배 빠른 최고 에치 속도를 달성합니다. LAM RESEARCH Vector Express (LAM RESEARCH Vector Express) 는 완전 통합되고 비용 효율적인 에칭 및 애싱 장비로, 반도체 제조의 유연성과 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. Vector Express는 강력한 제어 시스템을 통해 높은 처리량을 제공하며, 최대 프로세스 속도는 25cm/min입니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 4 축 동작 단위를 사용하고 X, Y 및 Z 축을 따라 동시에 이동하는 것과 보조 회전 축을 사용하여 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express를 사용하여 정확한 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. 특허를 획득한 non-contact, auto-follow 메커니즘을 사용하여 NOVELLUS Vector Express는 단일 설정에서 대형 웨이퍼에 대한 에칭 및 애싱 작업을 수행 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express의 핵심 기술은 DC 플라즈마 소스 (Plasma Source) 로 에치 속도가 높고 균일성이 뛰어납니다. DC "플라즈마 '공급원 들 은" 가스' 를 적게 사용 하고, 소모량 이 최소화 되며, 유지 보수 가 매우 적기 때문 에, 소유 비용 이 낮다. DC Plasma Source는 또한 특정 응용 프로그램에 대한 에칭을 가능하게하기 위해 다양한 가스를 지원합니다. 또한, 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 고급 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 탁월한 수준의 에치 깊이 균일성을 제공 할 수 있으며, 이는 웨이퍼를 가로 질러 밀의 수천 분의 1 이내의 에치 깊이를 단단히 제어 할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express (LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express) 는 한 번의 클릭으로 정확한 프로세스 제어를 제공하도록 설계된 고급 프로세스 제어 기능으로도 구성됩니다. 이 기계는 AAEC (Advanced Automated Etch Control) 및 LTPe (Low Total Pressure Etch) 와 같은 고급 소프트웨어 도구를 제공하여 사용자가 설정 시간을 최소화하면서 높은 프로세스 수율을 달성 할 수 있습니다. 또한, NOVELLUS Vector Express는 매우 긴 배기 플레 넘 (plenum) 설계를 통해 공정 챔버에서 화학적 반응성 에치 및 재 가스를 안정적이고 효율적으로 배출합니다. 결론적으로 LAM RESEARCH Vector Express는 최고의 생산성과 프로세스 성능을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. Vector Express (Vector Express) 는 특허를 획득한 기술과 정교한 프로세스 제어 기능을 통해 처리량을 극대화하면서 고품질 에칭 및 애싱 (ashing) 을 실현할 수 있습니다.