판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9314358
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ID: 9314358
웨이퍼 크기: 12"
CVD System, 12"
Trust controller
Front UI
Front end module:
(3) V6M Load ports
(3) Barcode readers
ATR-8 Robot
L/L and R/L Module:
Isolation valve
Chamber assembly
Chamber lid assembly
Coolpad
Actuator
Temperature module
Process module:
Remote Plasma Source (RPS): HF-S Type
AF Tube
(4) V16 Isolation valves
(2) V16 Fiber and amplifiers
High frequency RF match
Low frequency RF match
APEX 5513 High frequency RF generator, 5 kW
SIRF Assembly or cable
(4) Shower heads
(4) Pedestals
(4) Temperature controllers
(4) Carrier rings
(24) MCA Balls or pins
Index plate
(3) Lift pins
Gas box
Missing parts:
System controller
Module controller
KASHIYAMA L/L Pump
L/L and R/L Arm set with end effector assemblies
Low frequency RF generator, 2.5 kW.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 제조 공정에서 정확한 에치 제어를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 기능 및 프로세스 안정성이 우수하며, 높은 증착율은 시간당 최대 20 만 웨이퍼 (wafer) 이며, 결함이 낮은 기판이 증착됩니다. NOVELLUS Vector Express는 고급 프로세스 제어 소프트웨어를 갖춘 유연하고 고속, 풀 필드 에처/애셔입니다. 고급 소프트웨어 (advanced software) 기능을 사용하면 각 에칭 실행에 대해 정확한 에칭 조건을 설정하고, 안정적인 프로세스 조건으로 에칭 작업을 실행할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express etcher/asher는 자동 웨이퍼 로딩/언로드 시스템으로 설계되어 수동 노동을 줄이고 최소 오염 위험을 보장하며, 가스 유통 네트워크와 함께 최적의 화학 종/시약 안정성을 제공합니다. 염소, 플루오린, 6 불화 황, 산소 등 다양한 가스를 사용하여 높은 종횡비 구조와 고해상도 특징을 에칭, 매시 할 수 있습니다. etcher/asher는 SEMI P-12, P-17 및 P-25와 같은 최신 반도체 산업 표준을 준수합니다. Vector Express etcher/asher는 모듈식 사용자 친화적 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 모든 에칭/애싱 작업을 관리합니다. 이 소프트웨어는 프로세스 지속 시간, 온도, 전원 수준, 흐름 속도 등의 에칭 (etching) 매개변수와 에칭/어싱 (ashing) 작업을 모니터링하는 직관적인 사용자 인터페이스를 설정하기 위한 사용하기 쉬운 환경을 제공합니다. 또한 실시간 흐름 속도 모니터링, 프로세스 기록 저장, 프로세스 후 분석 툴도 지원합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express etcher/asher는 얕은 트렌치 격리 (STI) 에칭, 깊은 트렌치 격리 (DTI) 에칭, 선택적 산화물 에칭, 웨이퍼 클리닝 및 금속 증착과 같은 다양한 에칭/애싱 작업에 사용할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 임베디드 비전 시스템으로 설계되어 에칭/애싱 작업 전에 운영자가 기능 구조를 시각적으로 확인할 수 있습니다. 또한, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 풀 필드 플라즈마 에칭 기술로 설계되어 웨이퍼의 기능 크기나 위치에 관계없이 전체 웨이퍼 전체에 균질 한 에치 깊이를 제공합니다. NOVELLUS Vector Express etcher/asher는 반도체 제조업체를위한 강력하고 유연한 기계입니다. 탁월한 에칭/애싱 (etching/ashing) 기능, 탁월한 프로세스 제어 기능, 오염 위험 감소 등 고급 반도체 프로세스 흐름에서 에칭/애싱 작업을 위한 탁월한 선택입니다.
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