판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9298589

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 NOVELLUS에서 제조 한 멀티 챔버 에처/애셔입니다. 반도체· 전자산업· 연구개발 (R&D) 분야뿐만 아니라 무늬 마스크· 구조의 정밀 에칭· 재싱에 사용된다. 최대 200mm 직경의 대형 단일 기판에서 전통적인 에칭 (etching) 및 새로운 애싱 (ashing) 작업을 모두 수행할 수있는 기능으로 설계되었습니다. NOVELLUS Vector Express (NOVELLUS Vector Express) 는 다양한 샘플 크기와 구성을 수용 할 수있는 여러 프로세스 챔버를 갖춘 고급, 완전 자동화 된 프로덕션 etcher/asher입니다. LAM RESEARCH Vector Express는 각 프로세스의 속도, 정확성, 비용 효율성을 결합한 업계 최고의 에칭 및 애싱 소스를 갖추고 있습니다. 저온 에치 기능은 최대 25 ° C이며, 저압 작동 및 엄격한 프로세스 제어 기능이 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 설정 점에서 ± 0.1 ° C 이내의 온도 안정성을 제공하며, 공정 단계는 1/10의 초 및 비행 시간 정밀도로 진행되어 뛰어난 공정 반복성을 제공합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 원격 및 시스템에서 빠르고 쉽게 프로그래밍합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 챔버 격리 및 RTA (Rapid Thermal Annealing) 를 모두 결합 한 최초의 제품으로, 광범위한 프로세스 요구 사항을 처리 할 수있는 단일 에치 및 애싱 시스템을 제공합니다. 확장성, 업그레이드 기능, 유연성이 뛰어난 구성으로, 다양한 에칭 문제를 위한 뛰어난 유연성을 제공합니다. 프로세스 요구 사항에 따라, 프로세싱 챔버를 쉽고 빠르게 교환할 수 있습니다. 이 기계에는 에칭 및 애싱 프로세스를 완벽하게 자동화하는 마이크로 런처 (micro-launcher) 와 고정밀 스캐닝 기능이 있습니다. 또한 NOVELLUS 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 다양한 견고성 강화 (Rugged) 제조 환경에서 안정적으로 작동할 수 있도록 설계되었으며, 다운타임 및 유지 보수 비용을 절감하도록 설계된 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 최신 안전 규정 및 표준을 모두 충족하며, 최첨단 (최첨단) 기술을 통해 신뢰성, 저비용 (저비용) 운영 및 수명 연장 성능을 제공합니다. LAM 리서치 벡터 익스프레스 (LAM RESEARCH Vector Express) 는 에치 앤 애싱 (ech and ashing) 작업에서 최고 수준의 정밀성과 신뢰성을 추구하는 사람에게 이상적인 선택입니다.