판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294406

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 산업 내에서 처리량이 많은 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. NOVELLUS Vector Express는 이방성 에칭, 등방성 에칭, 심해 (deep-etching) 등 다양한 에칭 및 증착 프로세스에 사용할 수있는 고성능, 고속, 멀티 빔 장비입니다. 즉, 여러 운영 모드를 활용하여 재료를 빠르게 에치 (etch) 하거나 예금 (deposit) 하는 데 사용할 수 있는 처리량이 많은 처리 모드 (high-throughput processing mode) 를 포함하여 빠르고 정확하게 타겟팅된 웨이퍼 처리를 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 레이저와 같은 광원을 사용하여 처리 과정의 균일성과 정확성을 보장합니다. 광선은 DMD (digital mirror device) 및 SLM (spatial light modulator) 을 포함한 여러 광 구성 요소를 통해 처리됩니다. DMD 는 "레이저 '와 같은 광선 (light beam) 을 생성하는 광파의 정확한 조합을 만드는 반면, SLM 은 조명무늬를 변조하여 주어진 공정의 특정 요구를 충족시키기 위해" 빔' 을 정확하게 형성한다. Vector Express는 또한 패턴 된 기판을 향해 이온을 가속화하고 지시하는 UHI-IB (Ultra High-Intensity Ion Beam) 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 더 빠르고, 더 세밀하고, 더 정밀한 패턴을 만들어 더 나은 에칭 프로세스를 생성 할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 타일 에칭 어레이를 사용하여 이온 빔의 배치를 프로그래밍하여 특정 패턴을 정확하게 에칭합니다. 이 기계는 고품질, 재현성이 뛰어난 깊고 복잡한 패턴을 에치하는 데 적합합니다. 노벨 러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 반도체 (Semiconductor) 산업에서 널리 사용되며, 최소 화학 재료를 사용하면서 정밀도 및 속도가 높은 복잡한 패턴을 가져올 수 있습니다. 정확한 에치 패턴 (etch pattern) 을 빠르게 생성하고, 우수한 적합성을 가진 재료를 증착하며, 열 로딩이 매우 낮은 빠른 프로세스를 수행 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 또한 전통적인 에칭 및 증착 프로세스와 완벽하게 호환되며, 연구원은 습식 또는 건식 처리에 동일한 도구, 장비 및 재료를 사용할 수 있습니다. 마지막으로, Vector Express는 사용자 친화적이며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 즉, 기존 실험실이나 프로덕션 설치에 빠르고 쉽게 통합될 수 있습니다.