판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294235
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 etcher/asher 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (Wafer) 와 기판에서 원형 및 직선형 피쳐의 고정밀 패턴을 가능하게하도록 설계되었습니다. 노벨 러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 업계 전문가들로부터 가장 발전된 시스템이며, 빠른 속도와 정확도로 하이엔드 패턴을 만들 수있는 능력을 높이 평가받습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 플라즈마 유속, 흐름 방향, 전압, 에칭 속도, 가스 농도와 같은 매개 변수를 모니터링 및 조정하기 위해 폐쇄 루프 제어 장치를 갖추고 있습니다. 또한 매우 정밀한 직선 및 수평 기능을 만드는 고해상도 마스크 없는 리소그래피 머신 (maskless lithography machine) 을 갖추고 있습니다. 공구는 1 미크론 (micron) 이하의 피쳐 크기를 달성 할 수 있으며, 높은 속도로 에치 (etch) 할 수 있으며, 잘못된 정렬이 전혀 없으며, 최고 수준의 정확도를 보장합니다. Vector Express는 집적도 최적화 기능을 통해 TCO (총 소유 비용) 를 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 대용량 배치 (high capacity batch) 를 통해 자산의 차량 수를 줄여 생산량 및 비용 효율성을 높일 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 운영자를 보호하고 사고 위험을 크게 줄이기 위해 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 마지막으로, NOVELLUS Vector Express는 모델의 유연성과 확장성을 가능하게 하는 모듈식 설계를 특징으로합니다. 이를 통해 사용자는 필요에 따라 최신 구성요소 (component) 및 기능을 사용하여 장비를 업그레이드할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 또한 높은 업그레이드가 가능하므로 필요에 따라 모듈을 임대하여 비용을 절감할 수 있습니다. 따라서 Vector Express는 고품질, 고수율, 저가형 반도체 제품을 생산하는 데 이상적인 시스템입니다.
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