판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9284871

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 다양한 도전적인 재료 세트를 처리하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. NOVELLUS 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 고급 멀티 스테이션 플라즈마 화학 에치 기술을 활용하여 유전체, 금속 및 기타 재료 스택에 깊숙이 넣을 수 있습니다. 이 시스템은 높은 처리율과 우수한 프로세스 제어를 자랑합니다. 온도 영역 (temperature zone) 기능과 매우 안정적인 독점 벨로우 시스템 (probellow system) 은 사이클 시간을 줄이고 처리된 모든 재료 스택에 대해 균일 한 에치 솔루션을 가능하게 하며, 튼튼하게 구동되는 프로세스 및 반복 가능한 결과를 통해 점점 더 복잡한 구조를 확장할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 에칭, 증착 또는 어닐링 프로세스를 위해 구성 할 수있는 2 개의 챔버와 최대 3 개의 스테이션을 갖추고 있습니다. 하이엔드 에치 (etch) 기능을 위해 최대 600 와트의 플라즈마 전력을 제공하며, 로우엔드 (low end) 에치 (etch) 요구 사항을 위해 다이얼 다운 (dial-down) 옵션을 제공합니다. 또한 Vector Express는 처리량 및 성능 최적화를 위해 다양한 고급 (advanced) 기능을 제공합니다. 여기에는 내부 가스 리프트 피더, 레이저 차단, 시야 외 FRC, 조절 가능한 에치 레이트 등이 포함됩니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 소프트웨어 컨트롤도 제공하며 대부분의 소프트웨어 패키지와 호환됩니다. 데이터 로깅 (data logging) 기능이 내장되어 있어 etching cycle의 모든 set point 및 process 단계를 추적할 수 있습니다. 이 데이터는 특정 요구 사항을 충족하기 위해 프로세스를 더욱 최적화하고 구체화하는 데 사용될 수 있습니다. 마지막으로 NOVELLUS Vector Express는 소유 및 운영 비용이 저렴합니다. 그것 은 견고 한 "디자인 '을 자랑 하며, 이" 디자인' 은 여러 해 동안 믿을 만한 결과 를 얻을 것 을 보장 해 준다. 모듈식 (HA) 아키텍처를 통해 여러 모듈과 사용자 정의를 추가하여 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 요약하면, LAM RESEARCH Vector Express는 뛰어난 에칭, 증착 및 어닐링 프로세스 기능을 제공하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 즉, 다양한 재질 스택 (material stack) 에 맞게 구성할 수 있으며, 고급 기능을 통해 고객이 가장 까다로운 재료를 통해 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 저비용 (LCO) 의 소유권과 호스트 (Host) 소프트웨어 패키지와의 호환성을 통해 이 에칭 시스템은 주기 (Cycle) 를 단축하고 프로세스 효율성을 높이려는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.