판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9270599

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 로 다양한 두께의 층을 기판에 배치하고 에치 할 수 있습니다. 이 혁신적인 etcher/asher는 LAMM (Laser Activated Macro Mechanism) 을 사용하여 사용자가 레이어 구성을 매우 정확하게 편집할 수 있도록 합니다. LAMM은 또한 레이어를 에치하고 배치하는 데 필요한 주기 시간을 크게 줄입니다. NOVELLUS Vector Express는 서로 다른 재료의 단일 또는 다중 층이 필요한 응용 분야에 적합하며 알루미늄, 폴리 실리콘, 이산화규소, 질화물 실리콘 및 텅스텐 재료를 매우 정밀하게 입금하거나 에치 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 의 최대 기판 크기는 380x380mm이며, 얇은 층에서 높은 품질의 0.5äm까지 에치 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 일관되고 반복 가능한 에칭 결과를 보장하는 독특한 도구 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 etcher 플랫폼과 동기화된 2 개의 사전 정렬 레이저가 장착되어 있습니다. 이를 통해 에치 (etch) 영역에 걸쳐 매우 매끄러운 플라즈마 프로파일을 사용할 수 있으며, 재료가 에칭되는 속도를 제어합니다. Vector Express는 또한 저전력 최적화 및 정확한 에치/증착 레이어를 허용하는 통합 Adaptive Scanning을 제공합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express의 정확성과 반복성이 높기 때문에 다양한 까다로운 에칭/증착 프로세스에 사용할 수 있습니다. 효율성이 높으며 최대 200mm 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 대용량 생산이 가능하며 시간당 최대 300 개의 에치 속도를 갖습니다. 또한 NOVELLUS Vector Express (Vector Express) 는 편리한 사용자 인터페이스와 빠르고 편리한 부품 교체를 통해 유지 관리를 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 최첨단 에처/애셔는 모든 에칭/증착 프로세스에 완벽한 솔루션입니다. LAM 리서치 벡터 익스프레스 (LAM RESEARCH Vector Express) 는 매우 정밀하고, 반복 가능하며, 효율성을 갖춘 다양한 어플리케이션에 적합하므로 대용량 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다.