판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9251477

LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고정밀 반도체 장치 제조에 사용되는 업계 최고의 Etcher/Asher입니다. 이 시스템은 고급 (advanced) 기술을 활용하여 다양한 장치 계층의 높은 처리량과 정확한 에칭을 달성합니다. NOVELLUS Vector Express는 신뢰할 수 있는 Samco 플라즈마 소스를 장착하여 속도 및 신뢰성을 최적화하여 공정 안정성 (process stability) 을 제공하여 결함이 최소화되어 고수율 웨이퍼를 생산합니다. 독점적 인 DUPMAS 및 SAMCOFIT 알고리즘도 안정적인 프로세스를 설정하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH Vector Express는 전력, 압력, 온도 등 프로세스 변수의 엄격한 제어 덕분에 빠른 에칭 속도와 정확한 웨이퍼 패턴을 제공합니다. 고급 IXE (Ion Exchange Etching) 기술은 또한 높은 종횡비 패턴 기능에서도 에치 균일성을 제어하기 위해 더 넓은 동적 범위를 제공하여 에칭 정밀도를 높입니다. 또한 이 시스템은 효율적인 웨이퍼 로드 및 정렬 기능도 제공합니다. Vector Express는 에칭 속도, etch anisotropy, etch 선택성, 웨이퍼 균일성, 깊이 균일성 및 프로세스 반복성의 최적의 조합을 제공하는 고밀도 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 포함합니다. 이 시스템에는 에칭 (etching) 시 웨이퍼를 제자리에 고정시키는 단단한 컨트롤 척 헤드 (chuck head) 가 장착되어 후면 오염을 방지합니다. ICP 소스는 최대 전력 (power) 까지 부드럽게 램프하여 프로세스 시간을 더 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 증착, 에칭, 스트리핑 및 패턴을 포함한 다양한 표면 처리와 통합 될 수 있습니다. 또한 웨이퍼 전송을 위한 FOUP 제어 기능, FOUP 에서 프로세싱에 이르는 제품 추적 가능성, 자동 스태킹 등의 고급 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인터페이스 (User Friendly Interface) 는 애플리케이션의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 몇 가지 메뉴 옵션과 설정을 제공합니다. 요약하면, LAMNOVELLUS Vector Express etcher/asher는 다양한 장치 계층의 높은 처리량과 정밀 에칭을 제공하는 인상적인 기계입니다. 고급 IXE 기술로 결함이 최소화되면서 탁월한 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 통합 플라즈마 소스 (Plasma Source) 는 빠른 에칭 속도와 에치 균일성 (etch unifority) 을 매우 완벽하게 제어할 수 있습니다. 운영 애플리케이션과 개발 애플리케이션 모두에 적합합니다.