판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9235816

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 복잡한 레이아웃으로 미세 패턴 된 표면을 만드는 데 사용되는 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 제품은 와퍼의 정밀 정렬을 위한 고해상도 XY (고해상도 XY) 단계를 갖추고 있으며, 최적의 웨이퍼 처리 및 위치를 위한 직접 디스크 진공 척 (direct-to-disc vacuum chuck) 을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 옵션을 제공하여, 생산의 유연성을 확보합니다. 이 제품은 빠르고 정확한 프로세스 속도로 대용량 (대용량) 생산이 가능하도록 설계되었으며, 다중 실행에 대한 일관성을 위한 정확한 반복성을 제공합니다. NOVELLUS Vector Express는 매우 정확한 5축 Linear Drive Stage, 대규모 8인치 E-beam Source, 전체 프로세스 관리를 위한 내장 레시피 관리자 등 반복 가능한 프로세스를 위한 다양한 툴과 기능을 제공합니다. 또한 스프레이 인 플레이스 클리너 (spray-in-place cleaner) 및 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 통합 로드 잠금 장치 (integrated load lock) 와 같은 모든 자동 스마트 클리닝 에이전트가 제공됩니다. LAM RESEARCH Vector Express는 정확하고, 유연하며, 제어 가능하며, 반복 가능한 프로세스를 통해 고밀도 레이아웃을 에칭/분석하는 데 적합합니다. 또한 최신 Submicron 기술과의 호환성을 위해 설계되었으며 결함이 없는 작동을 위해 Standard with multi-zone scanning이 제공됩니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 유지 보수가 낮고, 효율적인 레이아웃으로 제작되어 운영 및 유지 보수가 용이하며, 원활한 운영 환경을 위해 다른 시스템과 쉽게 통합됩니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 또한 종합 가스 누출 탐지기, 제한된 공간 모니터링, 환기 도구 등 운영자를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 원격 제어 기능을 통해 운영자가 자산 작업을 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 갖춘 NOVELLUS Vector Express는 프로덕션 라인을 위한 안정적이고 안전한 에칭/애싱 솔루션입니다.