판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9215207

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 대용량 처리량 및 고밀도 패턴 처리를 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. NOVELLUS Vector Express는 전체 (full) 및 부분 (partial) 영역 패턴을 모두 지원하는 모듈식 아키텍처를 통해 높은 수준의 사용자 정의 및 유연성을 제공합니다. 즉, 시스템 구성에 따라, 프로세스 레시피를 간단하고 쉽게 조정할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 대형 중앙 처리 장치, 메모리 채널 배열 및 고정밀 DC 모터 구동 Y축 스태이징 장치를 갖추고 있습니다. Y축 스태이징 머신 (Y-axis staging machine) 을 사용하면 프로세스 전체 동안 웨이퍼를 정확하게 이동할 수 있으며, 프로세스 영역 내 어디에서나 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 또한 고속 컴퓨터 인터페이스 (High-Speed Computer Interface) 를 통해 원격 위치에서 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. Vector Express는 고밀도 패턴 해상도로 450mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 정확도가 높은 평면 화 제어 자산뿐만 아니라 정확도가 높은 비디오 검사 시스템도 있습니다. 이 모델의 수많은 센서는 실시간 모니터링 및 제어 (Control) 기능을 제공하여, 가동 중지 시간을 최소화하고 효율성을 극대화하면서 높은 처리량 수준에 도달할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 CDS (Computer-Directed-Scheduling) 및 SLE (Software-Led-Efficiency) 과 같은 포괄적인 소프트웨어 툴과 소프트웨어 기반 프로세스 컨트롤을 통합합니다. 이러한 소프트웨어 툴을 통해 고객은 운영 요구 사항에 맞게 시스템을 최적화하고 NOVELLUS Vector Express (Vector Express) 를 기존 운영 환경에 통합할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스 레시피를 실행할 수 있습니다. 이러한 레시피는 다양한 에치 비율 및 기판 보호 요구 사항에 맞게 최적화 될 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Vector Express를 사용하면 특정 응용 프로그램을 충족하기 위해 사용자 지정 에치 프로세스를 개발할 수 있습니다. 이 기계의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 품질 및 지속 가능성 측면에서 최고의 업계 표준을 충족하도록 설계되었습니다. Vector Express는 AEC-Q100 인증을 받았으며 신뢰성을 나타냅니다. 이 도구는 또한 환경 보호국 (Environmental Protection Agency) 이 부과 한 휘발성 유기 화합물에 대한 방출 표준을 충족시킵니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고속 프로세스 처리량, 고밀도 패턴 해상도 및 품질, 사용자 정의 가능한 레시피가 필요한 고객에게 이상적인 etcher/asher입니다. 정밀하고 안정적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하며 다운타임을 줄이고 전반적인 운영 효율성을 향상시키도록 설계되었습니다.