판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9169612
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ID: 9169612
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CVD System, 12"
System configuration:
Front UI
Signal tower: Broken
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC
ATM Robot & controller:
BROOKS RELIANCE 8
Friction type
Controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
ULPA Filter
(3) Pod loaders: Fixload 6M
LL / FE Interface PCB: 03-283968-00
Loadlock configuration:
(2) ATM Door valves: VAT
(2) Chamber slit valves: SMC
L/L Manometer: (10) Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM Type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor (Both)
Vent / Purge valve
L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N-2
PM Configuration:
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX2500
HF Auto matcher 27-279938-00
Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source:
Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pendulum valve: VAT / PM7 controller X
Pedestal: Standard type
Shower head
Endpoint detector: IREPD - MKS
10 Torr process gauge
Vacuum switch
20 Torr switch
MFC:
BROOKS SLA7950S
N2A
N2B
Ar
He
SiH4
NH3
NF3
O2
N2O(L)
N2O(H)
Arm position detector
Gauge monitoring kit
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Right L/L top cooling
Stn#1 pin lift type: Servo motor
Missing parts:
PM7 Controller
Signal tower: Broken
Power:
208 VAC, 3 Phase
Main 150 A
Full load 100 A
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 및 관련 산업에 사용되는 고성능, 효율적인 에칭 장비입니다. 고온 환경에서 쿼츠 웨이퍼 (quartz wafer), 실리콘 기판 (silicon substrates), 기타 전도 및 비 전도성 재료와 같은 기판의 높은 정밀도, 안정성 및 빠른 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. NOVELLUS Vector Express는 최대 1: 25의 종횡비를 가져올 수 있으며 분당 최대 1.5 와퍼의 높은 처리량을 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 각각 독립적으로 제어되는 공정 챔버 및 전용 펌핑 시스템을 갖춘 여러 고성능 에칭 챔버를 사용합니다. 이 시스템은 증착 시간을 줄이고, 웨이퍼 손상을 최소화하고, 우수한 프로세스 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 에칭 (etching) 프로세스를 세밀하게 제어하여 중요한 기능을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 각 에칭 챔버 내에서, 기계는 다중 영역 온도 및 압력 제어 (pressure control) 를 사용하여 각 챔버 전체에 일관된 환경을 만듭니다. 이 도구는 높은 신뢰성 에칭을 위한 통합 난방 및 냉각 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 에칭 챔버는 정밀하고 제어 된 에칭 챔버에 플루오린 기반 반응성 가스 (예: SF6, NF3 및 CF4) 를 정확하게 주입하는 전용 가스 혼합 자산을 사용합니다. Vector Express는 또한 에칭 성능 향상을 위해 균일 한 플라즈마를 제공하는 CIC (Advanced Chamber Impedance Control) 모델을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 인터페이스를 사용하여 제어 및 프로그램 개발을 용이하게 합니다. 이 장비는 또한 모든 표준 에칭 제어 (etching control) 시스템과 원활하게 통합하여 유연성과 생산성을 극대화합니다. 최소한의 유지 보수 및 가동 시간을 위해 설계되었으며, 최대 운영자 안전을 위해 SEMI 안전 표준 (SEMI Safety Standard) 인증을 받았습니다. NOVELLUS 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 다양한 소재와 응용 프로그램에서 우수한 에칭 품질과 성능을 생산할 수 있어 대용량 에칭 어플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 선택입니다. 탁월한 안정성, 효율성, 획일성을 제공하는 빠르고 경제적인 솔루션입니다.
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