판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9099742

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 마이크로 제조 프로세스에 사용되는 고성능 에처 및 애셔 도구입니다. 여러 프로세스를 동시에 수행 할 수있는 8 개의 독립 챔버가있는 멀티 챔버 시스템입니다. NOVELLUS Vector Express는 격차 충전 및 청소 응용 프로그램과 함께 유전체, 금속, 포토리스 연주자, 저 k 재료를위한 플랫폼입니다. etcher는 병렬 작동 모드에서 작동하는 1360W의 높은 PSP (Plasma Source Power) 를 가지고 있습니다. 이 고전력은 고속 에칭 (etching) 프로세스를 성공적으로 활성화하여 처리량을 높여 마이크로패브레이션 (microfabrication) 요구 사항을 충족시킵니다. 또한, 높은 PSP는 민감성 물질을 에칭하고 필름을 에칭하기 어려운 데 유익합니다. 또한 LAM RESEARCH Vector Express는 기존 및 고급 재료로 구성된 멀티 레이어 스택을 에칭하는 데 적합합니다. 효율적인 냉각 시스템을 통해 벡터 익스프레스 (Vector Express) 의 유연성이 더욱 향상되어 챔버를 0-110 ° C 범위 내에서 작동 할 수 있습니다. 이것 은 "기판 '을 손상 시키거나 분해 시키지 않고 거의 모든 물질 을 식각 시킨다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express의 온도 조절 롤 및 척 (roll and chuck) 은 패턴 왜곡없이 짝수 에치를 제공하기 위해 기판의 균일하고 정확한 사전 가열을 제공합니다. 5 초 이내에 ± 20 ° C의 빠른 웨이퍼 기후 이동으로 결함을 줄이고 전류 수율을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 열 제어 정확도는 0.1 ° C 이상의 안정성으로 우수합니다. 이를 통해 NOVELLUS Vector Express는 섬세한 패턴을 성공적으로 가져와 수율 증가에 이상적입니다. LAM RESEARCH Vector Express는 또한 높은 수준의 프로세스 제어를 자랑합니다. 프로세스 기반 인터페이스는 사용자가 플라즈마 강도, 가스 흐름, RF 주파수, 압력 및 냉각 메커니즘과 같은 모든 에칭 매개 변수를 제어 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모든 설정은 인터페이스에서 쉽게 사용할 수 있으며, 에칭 (etching) 프로세스를 쉽게 세밀하게 조정하도록 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 결론적으로, Vector Express는 다양한 마이크로 패브라이션 재료를 에칭하기 위한 탁월한 수준의 유연성을 제공하는 최고의 에처/애셔 (etcher/asher) 도구입니다. 고해상도 (HP) 기능을 에칭하고 PSP (Efficient Temperature Control) 기능과 높은 PSP 기능으로 인해 복잡한 마이크로 패턴 작업에 적합합니다. 또한, 사용하기 쉬운 프로세스 기반 인터페이스를 통해 모든 etching 매개 변수를 쉽게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 효율적이고, 정확하며, 고품질 에칭 및 애싱 작업을 수행하려는 사람들에게 적합한 선택입니다.