판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293829992

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 최첨단 고밀도, 고생산성 기술이 통합되어 있습니다. 이 장비는 활용도, 신뢰성 및 서비스 기능을 향상시켜 TCO (총 소유 비용) 를 절감하면서 정확성과 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 구성요소를 갖춘 유지 보수 친화적인 설계를 통해 손쉽게 교체할 수 있으며 다운타임을 최소화합니다. NOVELLUS Vector Express에는 장치 성능 최적화 및 수율 증가를 위한 다양한 맞춤형 도구가 포함되어 있습니다. 여기에는 패턴 처리 및 증착 프로세스를 수행하기 위한 특수 도구가 포함됩니다. 기계는 또한 기판 온도 및 압력을 제어하기위한 정밀 도구를 포함하며, 이는 필름 증착 및 에치백 (etchback) 프로세스에 균일성과 정밀도를 가능하게합니다. 이 도구는 고급 플라즈마 기반 에칭 및 에칭 기술을 기반으로합니다. 독점적 인 Lam Process Convergence Control이 특징입니다. 이 기능은 단일 배기 자산에 벡터 트랜스컨덕턴스 (vector transconductance), 에너지 제어 (energy control) 및 에치 속도 제어 (etch rate control) 알고리즘을 결합하고 필요한 소모품 수를 줄이면서 뛰어난 제어 및 균일성을 허용합니다. 또한 통합 로드 잠금 (load lock) 기능을 통해 프로세스 기판을 빠르고 원활하게 전송할 수 있습니다. 고속 전송 (High-Speed Transfer) 기능을 통해 처리량이 빨라져 제품 주기의 처리 시간이 단축됩니다. LAM 리서치 벡터 익스프레스 (LAM RESEARCH Vector Express) 는 다양한 공정 화학 물질과 호환되도록 설계되어 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 또한, 이 장비 는 대다수 의 전기 화학 "시스템 '과 협력 하도록 설계 되었으며, 여러 가지" 에치' 화학 물질 을 이용 할 수 있다. 이 시스템에는 다양한 안전 기능 (배기 가스 제어 및 증기 제거를위한 예방 조치 포함) 이 포함되어 있습니다. 이를 통해 안전하고 효율적인 에치/경유 환경이 보장됩니다. 전반적으로 Vector Express는 효율적이고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 즉, 모듈식 설계를 통해 유지 관리가 용이해지고, 고급 기술을 통해 고밀도 및 고효율 프로세스가 가능합니다. 이 장치는 또한 휘발성 가스 및 화학 물질로 인해 발생하는 위험을 방지하기위한 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 이것은 반도체 장치 제조에 이상적인 선택입니다.