판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293802072

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 웨이퍼 리소그래피를위한 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 다양한 표준 포토리스트 (photoresist) 와 호환되며 최대 5 개의 다른 에치 프로세스를 지원할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 웨이퍼 UV 노출 응용 프로그램을 위해 설계되었으며, 우수한 피드 레이트, 개선된 균일성 및 광범위한 작동 창을 제공합니다. 이 장치에는 양수 및 음수 패턴화로 작동하는 6 필드 로터리 척 (6-field rotary chuck) 이 있으며, 단일 및 양면 에치 프로세스를 모두 허용합니다. 또한 넓은 지역에 비해 더 높은 노출 균일성을 제공하는 멀티 조리개 어레이가 있습니다. 광원은 선택 가능한 빨강, 녹색, 파랑 LED (Blue LED) 노출 소스로 구성되며, 각 웨이퍼의 정확성과 품질을 보장하기 위해 다양한 에치 프로세스에 대해 미세 조정이 가능합니다. 이 기계는 또한 에치 속도를 정확하게 제어하는 데 도움이되는 PWM (Advanced Pulse Width Modulation) 컨트롤러를 갖추고 있습니다. PWM 컨트롤러에는 최적화 시간을 최소화하고 수율을 향상시키는 진단 도구가 내장되어 있습니다. 에셋은 빠른 배치 및 레시피 리콜을 위해 메모리 프로그래밍 가능한 프로세스를 지원합니다. 또한 DMD, DFB, ACORN 및 SMD와 같은 널리 사용되는 다양한 석판화 모델 컨트롤러와도 호환됩니다. 또한 LAM RESEARCH Vector Express는 하향식 증착 공정으로 설계되었습니다. 이를 통해 에지 바이어스 제어 (Edge Bias Control), 처리율 향상, 균일성 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 또한 멀티 존 가스 전달 시스템 (Multi-Zone Gas Delivery System) 을 갖추고 있으며, 포토 Esist 패턴을 최적화하고 다른 리소그래피 시스템에 비해 노출이 적어 더 빠른 프로세스 사이클을 허용합니다. 또한 Vector Express에는 장치를 안전하게 사용할 수있는 고급 안전 기능이 있습니다. 웨이퍼를 처리하기 전에 2 단계 감압 및 제거 프로세스가 포함됩니다. 리소그래피 (lithography) 공정의 모든 단계에서 초고 진공이 유지되며, 웨이퍼의 스트레스를 최소화하기 위해 수냉식 마스크 단계 응급제를 항상 사용할 수 있습니다. 강력하고 효율적인 석판화 기능을 갖춘 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고품질 칩과 웨이퍼를 생산하려는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 확장 기능 세트 (extended feature set) 는 다양한 에치 (etch) 프로세스를 지원하는 데 필요한 다용성을 제공하며, 고급 안전 기능으로 쉽게 사용할 수 있으므로 사용자가 항상 웨이퍼 (wafer) 생산을 완벽하게 제어할 수 있습니다.