판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800642

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 뛰어난 성능과 안정적인 작동을 제공하는 에처/애셔 장비입니다. 반도체 제조에 사용되는 것과 같은 가장 정확한 에칭/애싱 프로세스를 위해 설계되었습니다. NOVELLUS Vector Express는 특허받은 챔버 레벨 AFRC (Automatic Feed-Forward Etch Rate Control) 기술을 통해 뛰어난 제품 균일성을 제공합니다. 이 혁신적인 기술은 공정의 요구 사항을 충족시키기 위해 필요에 따라 에치 레이트 (etch rate) 를 조정하는 한편, 최적의 기판 온도를 유지하여 고품질 결과를 산출합니다. 또한, 예측 모델링 (predictive modeling) 을 사용하여 변화하는 프로세스 조건에 자동으로 조정하는 동적 프로세스 (dynamic process) 모드가 있으므로 높은 제품 품질과 프로세스 균일성이 모두 보장됩니다. 자동 챔버 레벨 AFRC (Automated Chamber Level AFRC) 장치는 에치 레이트와 챔버 압력을 모두 모니터링하고 조정하여 매우 정확하고 신뢰할 수 있습니다. 또한 극한의 프로세스 조건을 효과적으로 처리할 수 있으며, 고온 프로세스에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 고해상도 하드웨어는 다른 에처/애셔보다 더 높은 정밀도를 허용합니다. 이 시스템은 운영자의 작업을 단순화하는 사용하기 쉬운 단계별 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 직관적인 아이콘이 포함된 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 사용자에게 올바른 설정을 안내하고 사용자 오류를 최소화합니다. 또한 컨트롤러는 공구의 상태에 대한 실시간 정보 (real-time information) 를 제공하며, 사용자가 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 실리콘, 알루미늄 기판을 포함한 다양한 기판 및 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 금속 대 금속 에칭, 평면 패널 에칭, 박막 에칭과 같은 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한, 에셋에는 카세트와 기판을 쉽게 교환 할 수있는 다용도 카세트 로딩 모델이 있습니다. 즉, 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 작업이 부드럽고 효율적으로 실행되도록 합니다. 즉, 기판을 중단 없이 신속하게 처리할 수 있습니다. 전반적으로 Vector Express는 정밀도와 속도가 필요한 etch/ash 프로세스에 적합합니다. 이 장비는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 뛰어난 성능, 안정성 및 다용성을 제공합니다. 또한 사용하기 쉬운 인터페이스 (interface) 와 사용자 친화적 (user-friendly) 기능을 통해 반도체 업계에 적합합니다.