판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800641

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 다양한 응용 프로그램에서 더 높은 성능을 제공하도록 설계된 고급 단일 웨이퍼 에처/애셔 기술입니다. 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 단계를 순차적으로 수행하여 고품질 결과를 낼 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 어플리케이션의 효율성, 높은 처리량 및 유연성을 가능하게하기 위해 뛰어난 반복성과 초고성주기 시간을 제공합니다. 이 기계는 통일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 이 필요한 에치 (etch) 프로세스에서 처리량이 높으며, 정확한 기판 온도 제어를 위해 설계되었습니다. 2 개의 NOVELLUS 공정 챔버, 마이크로파 발전기 및 RF 발전기를 단일 장치에 통합하는 고급 모듈 식 아키텍처가 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 MEMS, 복합 반도체, 실리콘 웨이퍼 얇아짐, 두꺼운 금속 처리 등 다양한 에치 및 애쉬 응용 프로그램의 빠르고 정확한 처리를 제공합니다. 높은 처리량 장비는 최대 80um/min의 에치율로 작은 기능 크기 (0.2um) 를 높은 종횡비 (3:1) 로 처리합니다. Vector Express는 실리콘, 갈륨 비소, 질화 티타늄, 유기 물질, 알루미늄 및 폴리 이마이드를 포함한 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 통합 다중 프로세스 챔버 구성을 통해 단일 사이클 내에서 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 단계를 모두 처리할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 4 개의 공정 레시피, 1 개의 에치 전용 레시피 및 3 개의 애싱 레시피가 사전 로드되어 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 정확하고 비용 효율적인 에칭/애싱 시스템으로, 금속 및 유기 증착 프로세스에 대한 향상된 제어를 제공합니다. 프로세스 정확도 향상을 위한 정밀한 온도 차등 제어, 더 빠른 기판 로딩을 위한 자동 연동 (auto-interlock), 최적의 균일성을 위한 자동 조정 (auto-adjustment) 등 여러 가지 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. 또한 손쉽게 작동할 수 있는 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스 (touch-screen graphical user interface) 와 직관적인 템플릿 언어 (template language) 와 장비 설정을 단순화하고 가동 중지 시간을 줄여주는 대화형 그래픽 프로그래밍 (interactive graphical programming) 이 포함되어 있습니다. LAM 리서치 벡터 익스프레스 (LAM RESEARCH Vector Express) 는 프로세스 데이터를 활용하여 잠재적 인 수익률과 다운타임을 제거하는 프로세스 모니터링 및 제어 머신을 갖추고 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 어플리케이션의 처리량은 물론, 균일성과 반복성이 향상되었습니다. 통합 및 모듈식 (Integrated and Modular) 아키텍처를 통해 뛰어난 프로세스 제어를 통해 균일하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 안정적이고 사용이 간편하며, 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 처리에 유연성이 향상된 여러 프로세스 레시피가 사전 로드되어 있습니다. 직관적인 그래픽 프로그래밍, 프로세스 모니터링 및 제어 에셋은 비용 효율적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션에 이상적인 선택입니다.