판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800039

LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 다양한 산업 응용 프로그램에 사용되는 고급 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 실리콘 및 도핑 실리카 글라스 (silica-glass) 를 포함한 다양한 반도체 재료를 에치 및/또는 재로 설계했습니다. 폭 10 미크론, 깊이 200 미크론 정도의 기능을 에칭 할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express 시스템에는 주 처리 장치, 가스 처리 모듈 및 원격 컨트롤러가 포함됩니다. 주 처리 장치는 대량 흐름 컨트롤러, 전원 공급 장치, RF 생성기, 로드 잠금 및 Annealing 스테이션으로 구성됩니다. "가스 '취급" 모듈' 은 필요 하다면 "에찬트 '와 보호 를 포함 하여 공정" 가스' 를 약실 에 공급 한다. 로드 잠금 (Load Lock) 은 최대 2개의 웨이퍼를 수용할 수 있으며 장치를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 실리콘 또는 마이크로 파이프 (micro pipe) 를 유리로 분리하기위한 이방성 습식 에칭을 포함하여 다양한 에칭 프로세스를 갖추고 있습니다. MSE (Multi Step Etch) 프로세스를 통해 결함이나 파손없이 필요한 모양으로 깊은 참호를 만들 수 있습니다. 또한 보쉬 장치 에칭 프로세스 (Bosch device etching process) 를 제공합니다. 이는 실리콘과 밀접하게 접촉하는 데 필요한 모양을 만드는 데 사용되는 포토 리토 그래피 기반 에칭 프로세스입니다. Vector Express는 또한 어닐링을 제공합니다. 이 과정을 통해 웨이퍼는 크래킹 (cracking) 없이 패턴화되고, 원치 않는 결함을 줄이고, 수익률을 향상시킬 수 있습니다. 재료에 따라, 저압 빠른 열 anneal, 저압 RF anneal 또는 저장 RF anneal을 적용 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 추가 탈피에 O2 플라즈마 (O2 plasma) 를 사용하고 에치 된 피쳐의 산화물 프리 클리닝 (oxide-free cleaning) 을 사용할 수 있습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express 도구는 다양한 산업 응용 프로그램에 높은 수율을 제공 할 수있는 고성능 도구입니다. 각기 다른 재료에 대한 다양한 에칭 프로세스 (단열재 및 각기 다른 재료의 공동 통합) 를 제공합니다. 또한 고급 어닐링 프로세스 및 산소 플라즈마 클리닝 (cleaning) 을 제공하여 수율을 최적화하고 결함을 줄입니다.