판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293793396

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 서브 미크론 장치의 높은 처리량을 생산할 수있는 고급 에처 및 애셔 장비입니다. FinFET, MURA 및 기타 고급 구조를 포함한 현대 반도체 장치의 제작에 사용되는 매우 복잡한, 고가로 비율 (High-Aspect-Ratio) 구조의 생산에 최적화되었습니다. NOVELLUS Vector Express etcher 시스템은 물리적 에칭과 선택성 및 정밀도를 결합합니다. 등방성 에칭, 방향성 에칭 및 과잉 에칭의 세 가지 에칭 모드를 제공합니다. 등방성 에칭은 단일 에치 마스크를 사용하여 모든 면에서 균일 한 에칭을 만듭니다. 높은 종횡비 구조에 최적화된 방향성 에칭 (Directional etching) 은 높은 수직 선택성을 위해 2 개의 마스크를 사용합니다. 이 마스크는 상단에서 에칭이 가능하며, 마스크가 덮여 있지 않은 영역에서만 측면 에칭이 가능합니다. 오버 에칭 모드는 매우 매끄러운 산화물 에칭에 최적화되어 있으며, 정확한 트리밍 작업을 위해 최대 2 밀리미터 초과 에칭이 제공됩니다. LAM RESEARCH Vector Express는 에칭 품질 보증을 위해 통합 된 현장 모니터링 장치도 갖추고 있습니다. 이 기계는 endpoint 감지 및 프로세스 최적화를 지속적으로 모니터링합니다. 이 제품은 CF4 에치 소스 (etch source) 와 핫 서피스 소스 (hot surface source) 를 갖추고 있어 섬세한 기능을 위한 처리량을 높이고 기본 산화물 레이어에 대한 손상 위험을 최소화합니다. 이 도구는 또한 고립 된 정적 프리 (static-free) 공정 챔버를 특징으로하여 산화물 품질을 높입니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 에처 및 애셔 에셋은 매우 높은 수준의 모듈성, 유연성, 확장성으로 설계되어 향후 업그레이드와 확장이 가능합니다. 여기에는 광범위한 레시피 라이브러리 (Library of 레시피) 와 레시피 개발 도구 (Recipe Development Tools) 가 포함되어 있어 프로세스 매개변수의 수동 조정 및 최적화를 통해 가장 까다로운 애플리케이션이 가능합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 패키징, eWLB 및 3D 스태킹 제작 프로세스의 프로세스 통합에 적합하여 안정성이 향상되고 제조 수익률이 향상되었습니다.