판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293775691
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ID: 293775691
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
System, 12"
(2) BROOKS Vision 9 loader
KASHIYAMA NV60N-5 Cooling pedestals in loadlocks
ATM Robot
Controller kit RBT / Armset, 8.4"
Vortex controller
IOC Controller
Chase computer
TEVET
Cable with accessory
Loadlock
Process chambers:
MKS AX7645RH-01 Remote Plasma Sources (RPS)
MKS AX7645PS-01 Remote Plasma Sources (RPS)
COMDEL CLX-2750 RF LF Generator : 2.75 KW
AD-TEC AXR-2000 RF HF Generator : 2 KW
Process modules:
MKS Baraton 10 Torr
MKS Baraton 1000 Torr
Gas box:
MFC number / Make / Model / Gas / MFC Size
MFC1 / AERA / FC-D980C / SiH4 / 1.5 SLM
MFC2 / AERA / FC-D981SBC / N2 / 1.0 SLM
MFC3 / AERA / FC-D981SBC / C2H2 / 5.5 SLM
MFC4 / AERA / FC-D981SBC / H2 / 10 SLM
MFC5 / AERA / FC-D981SBC / He / 20 SLM
MFC7 / AERA / FC-D982C / N2O / 25 SLM
MFC8 / AERA / FC-D981SBC / O2 / 25 SLM
MFC9 / AERA / FC-D981SBC / NF3 / 3 SLM
MFCB / AERA / FC-D981SBC / N2 / 10 SLM
MFCC / AERA / FC-D981SBC / Ar / 35 SLM
MFCD / AERA / FC-D981SBC / Ar / 5 SLM
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express (VX) 는 다양한 응용 프로세스에서 정확하고 고품질 회로 패턴을 생산하도록 설계된 etcher/asher 장비입니다. VX 시스템은 최첨단 기술 (State-of-the-Art Technology) 을 탑재하여 대용량 처리량과 뛰어난 통일성 (Unifority) 결과를 달성하면서 정확한 패턴을 구현할 수 있습니다. VX 는 고급 Ablation Control 소프트웨어를 사용하여 Etching 프로세스와 Ashing 프로세스를 모두 정확하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 에치 (etch) 깊이 및 측면 (lateral) 정밀도와 더불어 에칭할 정확한 패턴을 정의할 수 있습니다. 이 장치는 LAM의 자동 정렬 (Auto-Align) 및 자동 회전 (Auto-Rotate) 기능으로 향상되었으며, 이 기능은 더 나은 정렬 및 정확도를 위해 패턴을 이동하고 회전합니다. 또한 VX 는 모듈성이 뛰어나므로, 필요에 따라 시스템을 구성할 수 있습니다. 이 도구는 균일하고 반복 가능한 패턴을 보장하기 위해 Jet-Step 프로세스를 사용합니다. 이것은 기질이 에치 내성 물질로 사전 코팅 된 프리 에치 (pre-etch) 를 포함한 여러 단계로 구성됩니다. 그 후, 메인 에치 단계 (main etch step) 가 있으며, 여기서 패턴의 실제 에칭이 수행됩니다. 마지막으로, 오프에치 단계는 과도한 재료 또는 잔기가 제거되도록 합니다. VX에는 DFI (Dual Multi-Faceted Illuminator) 도 장착되어 있습니다. 이것은 두 레벨의 f-theta 및 telecentric 렌즈로 구성된 반사 다중 lambertian optics 패키지로 구성됩니다. 이를 통해 에칭이 다중 방향 (multi-directional) 방식으로 이루어져 보다 정확한 에칭이 가능합니다. 이 자산은 또한 내장 비전 모델을 포함하여 에칭 중 우수한 등록을 보장합니다. 이는 완제품이 높은 품질과 균일성을 보장합니다. 또한, 이 장비는 입자 오염을 줄이고 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. "나노 '입자 수집" 시스템' 은 "에칭 '하는 동안 입자 를 포착 하도록 특별 히 설계 되어 기질 을 오염 시키지 못하게 한다. 여기에는 응축실 (condensation chamber) 이 포함되며, 이를 통해 환경 통제와 입자의 효율적인 포획이 가능합니다. 마지막으로 VX 장치는 고급 진단 소프트웨어를 제공합니다. 이렇게 하면 사용자가 다른 기판에 대한 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 매개변수를 모니터링하여 조정하고 기계를 최적화하여 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 공구는 최고의 정확도, 정확도, 처리량을 달성할 수 있으며, 고품질 (High-Quality) 로 완성되었습니다.
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