판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293748930

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 산업의 대용량 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 고급 에처 및 애셔 기술입니다. 이 장비는 PAE (Plasma Assisted Etch/Ash) 와 같은 고급 에치/애쉬 기술과 여러 기판, 고급 배럴/펌프 구성 및 기타 지원 기술을 결합하여 프로세스를 최적화합니다. 이 시스템은 여러 프로세스 기술을 하나의 플랫폼으로 통합하여 탁월한 처리량과 생산량을 제공합니다. PAE는 웨이퍼 접시 (wafer dishing) 및 에지 변형 (edge deformation) 과 같은 최소한의 결함으로 높은 에치 속도와 낮은 거칠기를 달성 할 수 있습니다. 또한, 에치 및 애쉬 공정은 플로트 글래스, 퓨즈 쿼츠 및 코닝 HDTV와 같은 여러 기판을 사용하여 활성화됩니다. 노벨 러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 고급 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 기술을 결합하여 다양한 재료와 기판을 완벽하게 제어 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express 플랫폼은 구성 능력이 뛰어나며, 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 솔루션을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 플랫폼은 Vector Processing Cell 및 Multi Process Controller의 두 가지 기본 모듈로 구성됩니다. 벡터 처리 셀 (Vector Processing Cell) 에는 기판 홀더, 진공 척, 플라즈마 소스, 에칭 및 애싱 스테이션, 냉각 장치 등 에치/애쉬 프로세스의 모든 컴포넌트가 포함됩니다. 다중 프로세스 컨트롤러 (Multi Process Controller) 를 사용하면 단일 실행에서 여러 프로세스 (예: 에칭 및 애싱) 를 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 Vector Express에는 고급 원격 모니터링, 진단 및 추적 기능이 있습니다. 원격 모니터링을 통해 사용자는 etch/ash 프로세스 (예: etch/ash 속도, 온도, 압력 등) 에 관한 모든 세부 사항에 액세스 할 수 있습니다. 사용자는 추적 가능성과 재생성을 위해 에칭 레시피를 추적 할 수도 있습니다. 이 기계는 또한 전체 공구 모니터링을 통해 설계되었으므로 사용자는 현재 에치/애쉬 수 (etch/ash count), 압력 및 온도 데이터 (pressure and temperature data), 주기 수 (cycle count) 를 볼 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 첨단 기술로, 엄격한 프로세스 제어 및 탁월한 처리량과 함께 대용량, 효율적인 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 플랫폼의 다양성을 통해 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 고급 원격 모니터링 (Advanced Remote Monitoring) 및 추적 기능 (Traceability) 기능을 통해 완벽한 제어 및 프로세스 관리를 수행할 수 있습니다.