판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293652040

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 정밀 마이크로 제조 프로세스에 사용되는 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 이 다재다능한 도구는 금속, 절연체, 반도체 등 다양한 재료를 에칭 및 세척할 수있는 고성능 플라즈마 소스를 특징으로합니다. NOVELLUS 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 각 기판 유형에 최적화된 조절 가능한 압력과 세트 포인트 (setpoint) 를 특징으로하여 기판 또는 공정에 손상이 없습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 이중 RF 발전기와 전용 고전압 소스를 사용하여 복잡한 구조에 대한 깊은 에치 깊이 및 미크론 수준의 정밀도를 제공합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 빠른 주기 시간, 최소 진공 및 반응 챔버 컨디셔닝, 화학적 사용량이 적은 고출력 생산에 이상적입니다. 즉, 매우 자동화된 작업을 통해 매개변수를 쉽게 설치, 모니터링할 수 있으므로, 빠르고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 최적의 성능을 위해 플라즈마 소스를 조정하는 자동 조정 (auto-tune) 기능도 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 진단 및 온보드 가스 혼합 및 분석 시스템을 통해 뛰어난 에치 품질을 보장하고 프로세스 변동을 최소화합니다. 노벨 러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 에칭 외에도 애싱, 레이어 스트리핑 및 기타 건식 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 다재다능하고 강력한 가스 분포 플랫폼은 특정 공정 화학에 최적화되어 있으며, 기질 독립적 인 반복 가능한 에칭 결과를 제공합니다. 그리고 고성능 쇼어 헤드 (showerhead) 를 사용하면 프로세스 성능을 저하시키지 않고 최대 6 "웨이퍼를 에치 및 재시작할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 또한 고유한 플라즈마 에치 (etch) 백업을 통해 사용자가 신속하게 에치 설정을 최적화된 이전 상태로 쉽게 복원할 수 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 정밀 마이크로패브라이션 어플리케이션을 위한 이상적인 도구로서, R&D 단계에서 대용량 생산으로 빠른 속도, 정확성, 신뢰성을 제공합니다.