판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293615299

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 유전체 및 금속 층과 같은 재료를 입금하고 고정밀 에치 및 청소를 수행하는 데 사용되는 고급 etcher/asher 기술입니다. 이 시스템은 균일하고 재현 가능한 공정으로 정확하고, 안정적이며, 높은 수율의 제품을 생산할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 다양한 응용 프로그램에서 고급 장치 연구, 개발 및 생산을위한 완벽한 도구입니다. LAM RESEARCH Vector Express는 플라즈마 소스 가스 (Plasma Source Gas), 차폐 및 에칭 가스 (Etching Gas) 의 병렬 흐름을 생성하여 고품질 에치 및 청소 결과를 제공하는 2 개의 정밀 제어 가스 분사 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 모든 응용 프로그램에 대한 고성능 에칭을 위해 최적의 압력 (pressure) 과 진공 시스템 (vacuum system) 을 갖추고 있습니다. 진공 및 압력 요구 사항은 가변적이고 프로세스 요구 사항에 맞게 조정이 가능합니다. Vector Express는 우수한 재료 제거 및 청소를 제공 할 수 있습니다. 그것 은 매우 작은 "빔 '크기 를 가지고 있어서, 기판 의 면적 에 대하여 두께 가 크게 변하지 않고, 재료 의 보다 정밀 하고 정확 한 증기 증착 을 가능 케 한다. 그 결과, 뛰어난 장치 성능에 필요한 균일하고 일관된 유전체 레이어 두께가 발생합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express에는 신뢰할 수 있는 프로세스 제어가 가능한 여러 프로세스 모니터링 솔루션이 장착되어 있습니다. 이러한 솔루션은 압력 및 온도, 전극 수, 증착 또는 제거 된 재료의 양 및 기타 프로세스 매개변수를 모니터링합니다. 이 데이터를 통해, 일관성 있는 디바이스 성능을 보장하는 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 반도체, 태양 광 장치 제조 및 기타 산업 응용 프로그램 등 다양한 산업에서 사용됩니다. 이 시스템은 최첨단 어플리케이션에 필요한 매우 높은 정밀도, 균일성, 신뢰성을 지닌 고품질 (High Quality) 장치를 생산할 수 있습니다. 또한 LAM 리서치 벡터 익스프레스 (LAM RESEARCH Vector Express) 는 산업 자동화 생산 시스템에 쉽게 통합되어 산업 생산 환경에 완벽한 툴이 될 수 있습니다. 이 고급 etcher/asher는 가장 신뢰할 수있는 에칭 솔루션 중 하나입니다.