판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293614948

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 고급 반도체 처리를 용이하게하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 제품은 20K 매트릭스 포인트 (matrix point) 보다 큰 패턴 밀도를 지원하는 공동 평면 고해상도 타일링 (high-planar high-throughput tiling) 기술을 통해 처리량을 높이고 디바이스 커버리지를 빠르게 처리할 수 있습니다. 또한, NOVELLUS Vector Express (NOVELLUS Vector Express) 는 불균일 한 레이어 두께와 건조 및 습식 에칭에 대해 다중 패턴 레이어 전송을 수행 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에치 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 배치 처리 및 자동 최적화 도구를 모두 포함하는 포괄적인 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 etching, conformal coating, backgrind 및 patterning을 포함한 향상된 프로세스 단계 조합을 활용할 수 있으며, 균일하고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 제품군은 열/전기 모니터링 기능을 제공하여 여러 웨이퍼 (wafer) 실행에서 균일 및 반복 (repeatable) 결과를 보장합니다. 엔지니어링 사양 측면에서, 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 0.1에서 1.m/min 범위의 다양한 에치 속도를 제공하며, 단일 에지 수평 슬롯의 너비는 10 ½ m입니다. 또한 챔버 크기는 920 x 700mm (920 x 700mm) 이며 최대 12 인치 웨이퍼를 위해 설계되었으며 다양한 웨이퍼 재료를 지원합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express는 반도체 시장의 발전하는 요구를 충족시키기 위해 설계된 NOVELLUS는 최고 수준의 에칭 및 애싱 장비를 제공하기로 약속했습니다. 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 과 엔지니어링 사양 (Engineering Specification) 은 사용자가 정확하고 안정적인 에칭 프로세스를 달성할 수 있도록 강력한 툴킷을 제공합니다. NOVELLUS 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 반도체 제조 공정의 귀중한 추가 기능으로, 사용자가 보다 정밀하고 빠른 처리량으로 제품을 만들 수 있습니다.