판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9293848

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed는 반도체 제조 산업에서 사용되는 에칭 및 애싱 도구입니다. 더 빠른 패턴화 (patterning) 를 지원하는 혁신적인 기술을 활용하여 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 2 단계 프로세스를 사용하며, 이는 화학 에치 단계로 시작합니다. 이 단계에서, 혈장은 NOVELLUS Speed 플랫폼 내 진공 챔버에서 생성됩니다. 그런 다음, Cl2와 같은 화합물을 플라즈마에 도입하여, 고정밀 에칭 공정을 일으킨다. 이어서, 에칭 된 피쳐는 포스트 에치 보호 필름 (post etch protective film) 에 의해 보호되며, 이를 통해 후속 애싱 및 스트리핑 단계를 가능하게한다. 애싱 (ashing) 단계는 O2, He 및 Ar의 독특한 3 방향 조합을 사용하여 과도한 입자 축적을 필요없이 깨끗하고 효율적인 애싱 프로세스를 제공합니다. 또한, LAM RESEARCH Speed 플랫폼은 챔버 내에서 압력을 조절하여 정확한 에칭 및 애싱 조건을 보장 할 수 있습니다. 스피드 (Speed) 의 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 을 사용하면 플랫폼이 챔버의 압력과 온도에 맞게 에칭 및 애싱 결과를 최적화하는 방법에 대해 독립적 인 결정을 내릴 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed는 다양한 프로세스에 적합하며, 가장 중요한 반도체 패턴화 요구를 처리 할 수 있습니다. 처리량이 높은 기능은 MEMS 장치, Finfield-effect 트랜지스터 (FET) 및 매우 대규모 통합 (VLSI) 과 같은 고급 에칭 및 애쉬가 필요한 프로세스에 대한 매력적인 옵션입니다. 또한 NOVELLUS Speed는 다양한 웨이퍼 크기, 모양 및 두께를 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Speed (LAM RESEARCH Speed) 는 직관적인 사용자 인터페이스로 설계되었으며, 또한 적응형 측정 시스템을 갖추고 있어 성능 최적화를 위해 실시간 데이터 분석을 제공할 수 있습니다. 강력한 이 툴은 또한 안정성이 뛰어나며, 다운타임이 낮고, 웨이퍼 처리량이 일관됩니다. 전반적으로 속도 (Speed) 는 고급 에칭 및 애싱 시스템으로, 응용 프로그램 패턴화에 높은 처리량과 탁월한 정확도를 제공합니다. 반도체 제조 공정에서 우수한 성능을 필요로 하는 사람들에게 이상적인 선택입니다 (영문).