판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9235078

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed는 웨이퍼 처리에 사용되는 에처/애셔입니다. LAM Etcher/Asher와 NOVELLUS Asher의 두 가지 다른 시스템의 조합입니다. 이 장비는 단일 웨이퍼 단계 (single wafer steps), 평면 배치 (planarization), 박막 증착 (thin film deposition) 등 다양한 웨이퍼 처리 요구를 지원하도록 설계되었습니다. LAM Etcher/Asher는 정확한 웨이퍼 패턴화를 위해 설계된 고급 플라즈마 에칭 시스템입니다. 이중 단계 ICP 소스 구성을 사용하여 균일하고 효율적인 에치 (etch) 프로세스를 생성합니다. 이 장치는 특허를 받은 Microzone (tm) 에칭 머신을 사용하여 최적의 해상도로 정확하고 높은 처리량을 제공합니다. 모든 기판에서 매개변수 에칭 (etching parameters) 을 제어하도록 설계되어 프로세스 결과의 균일성을 보장합니다. 에칭 챔버 (etching chamber) 는 신뢰성이 높으며 다양한 웨이퍼 처리 요구를 지원할 수 있습니다. NOVELLUS Speed Asher는 LAM Etcher/Asher와 함께 사용할 수있는 고급 asher 도구입니다. 가장 빠른 주기 시간으로 정확하고 균일 한 웨이퍼 열 프로세스 (wafer thermal process) 를 제공하도록 설계되었습니다. highLAM RESEARCH Speed 가스 재싱 공정은 웨이퍼에 이산화규소의 얇은 필름을 퇴적시키는 데 사용됩니다. 이 자산은 수동화 (passivation), 플라나라이제이션 (planarization), 금속화 (metallization) 등 다양한 웨이퍼 응용 프로그램에 대해 빠르고 정확한 웨이퍼 열 처리를 제공합니다. 애셔 (asher) 는 솔더 리플로우 전에 웨이퍼 표면의 표면 청소 및 청소에 사용될 수도 있습니다. LAM Etcher/Asher와 Speed Asher의 조합은 연구와 생산을 위해 매우 신뢰할 수 있고 생산적인 웨이퍼 처리 모델을 제공합니다. 이 장비는 높은 처리량, 정확한 프로세스 결과 및 프로세스 균일성을 제공하며 LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Asher에서 제공하는 빠른 주기 시간을 제공합니다. 사용이 간편한 고급 제어 시스템 - 빠르고 일관된 결과를 보장하며, 사용자가 프로세스 매개변수를 신속하게 설정, 최적화할 수 있도록 지원합니다. LAMNOVELLUS Speed Asher (LAMNOVELLUS Speed Asher) 는 다양한 애플리케이션에 대한 웨이퍼를 처리하는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 방법입니다.