판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #293819068

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed는 반도체 제작의 에칭, 증착 및 깨끗한 단계에 사용되는 에처/애셔 (etcher/asher) 이며, 고급 기술에 이상적인 기능을 제공합니다. 반도체 생산에서 반응성 이온 에칭, 화학 증기 증착, 대기 압력 건조 에칭, 디커플링 된 플라즈마 에칭 및 클린 프로세스를위한 고급 도구입니다. NOVELLUS Speed는 2 차원 병렬화를 사용하여 etch-and-deposition 프로세스에서 더 높은 정확도와 수율로 처리량을 높이고 LAM RESEARCH Speed를 처리합니다. 이 툴은 향후 기술 향상을 수용할 수 있는 확장성 (SCS) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 하드웨어를 신속하게 교체하여 운영 속도를 높일 수 있습니다. 속도 (Speed) 는 오염 물질을 생성하지 않고 장비를 통한 입자의 수송을 안전하고 정확하게 제어하기 위해 가장 진보 된 약물 제제 기술을 통합합니다. 이 기술을 통해 시스템은 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 과정에 필요한 미세 입자를 유해한 배출량을 생성하거나 낮은 스루 푸트 수율로 부산물을 생산하지 않고 수송 할 수 있습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed는 또한 에칭 및 증착 프로세스 매개변수를 제어 할 때 단계별 정확성을 보장하는 고급 소프트웨어 제어 장치를 제공합니다. 이 소프트웨어 기반 시스템을 사용하면 사용자 정의 맞춤형 프로세스를 만들어 각기 다른 기판 재료 (Substrate Material) 및 프로세스에 대한 특정 성능 및 품질 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 노벨 러스 스피드 (NOVELLUS Speed) 는 또한 젖은 벤치 (bench) 작업을 단일 진공 도구에 통합하는 기능을 가지고 있으며, 젖은 벤치 (bench) 와 주 자산 사이의 프로세스 정보 전송을 용이하게합니다. 이 기능을 통해 에치 (etch) 및 증착 프로세스를 보다 효율적이고 경제적으로 실행할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Speed는 향상된 처리량을 위한 2 차원 병렬 처리, 입자 수송을 제어하기위한 최첨단 약물 정립 기술, 맞춤형 프로세스 생성을위한 소프트웨어 제어 모델 때문에 고급 프로세스 기술에 적합한 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 또한 습식 벤치 (Wet Bench) 작업을 장비에 통합하여 더욱 효율적이고 비용 효율적입니다.