판매용 중고 LAM RESEARCH Metal45 #9351454

LAM RESEARCH Metal45는 반도체 웨이퍼의 높은 처리량을 처리하도록 설계된 CVD 에처/애셔입니다. Metal45 는 최첨단 프로세스 유연성을 제공하며, 운영 환경에 완벽하게 통합할 수 있습니다. LAM RESEARCH Metal45 기능에는 등각 플라즈마 균일성, 뛰어난 로드 및 언로드 기능, 최적화된 프로세스 제어가 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 Cu, Al, TiN 및 더 까다로운 금속 및 유기물과 같은 광범위한 재료를 에칭 및 세척하기에 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 가 됩니다. Metal45는 표준 백사이드 에칭 및 사이드 월 에칭 응용 프로그램을 모두 지원합니다. 독립적으로 작동하는 한 쌍의 오프 축 (Off-axis) 고밀도 플라즈마 소스를 사용하여 매우 균일 한 에치 및 재 속도를 보장합니다. LAM RESEARCH Metal45는 또한 독점적 인 3SICARD ™ 장비를 사용하여 프로세스 매개 변수를 제어 및 설정하여 일관되게 높은 품질의 결과를 보장합니다. Metal45는 작은 설치 공간이있는 자동 시스템입니다. 이 제품은 프로덕션 라인에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 에칭 (etching) 및 애쉬 (ash) 프로세스 설정 및 모니터링을 위한 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 제공합니다. 자동 장치 (Automated Unit) 는 개별 기판 요구 사항 프로세스를 최적화하도록 완벽하게 구성할 수 있습니다. LAM RESEARCH Metal45는 또한 독특한 오버 에치 (over-etch) 및 리에치 (re-etch) 기능을 갖추고 있으며, 에칭 및 애쉬 작업 중에 프로세스 매개변수를 세밀하게 튜닝할 수 있습니다. 메탈45 머신 (Metal45 machine) 은 도구의 그래픽 연산자 패널을 통해 실시간으로 운영자에게 알리기 때문에 프로세스 성능을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. LAM RESEARCH Metal45의 최첨단 설계는 또한 높은 신뢰성과 프로세스 반복성을 제공하여 대규모 생산에 이상적인 etcher/asher입니다. 또한 Metal45는 SEMI S2-0200 및 High Volume Batch Etch 시스템에 대한 CIS (Common Industry Standard) 인증을 획득하고 준수합니다. 결론적으로 LAM RESEARCH Metal45 (LAM RESEARCH Metal45) 는 광범위한 재료 유형의 안정적이고, 반복 가능하며, 정확한 처리를 위해 설계된 견고한 고출력 에처/애셔입니다. 자산의 고급 기능은 대규모 생산 환경에 이상적입니다.