판매용 중고 LAM RESEARCH Main body for 2300 Exelan #293665646

LAM RESEARCH 2300 Exelan은 반도체 제조를위한 다양한 재료를 정확하고 일관되게 에칭하도록 설계된 산업 등급 애셔 (etcher) 입니다. 전용 스테퍼 모터 (stepper motor) 및 기판 처리 장비를 장착하여 기판을 독립적으로 빠르고 효율적으로 이동시키는 동시에 높은 에치 (etch) 정확도를 유지합니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan은 Windows 기반의 고속 디지털 컨트롤러로 구동되며, 정확한 에칭 및 복잡한 프로세스 시퀀스를 제공합니다. 이 시스템에는 각각 최대 500 개의 기판을 처리 할 수있는 2 개의 독립적 인 핫 플레이트가 있습니다. 따라서 여러 워크플로를 동시에 완료할 수 있으므로 처리량과 효율성이 향상됩니다. 또한, 인클로저 내에 수용되는 독립적 인 제어되는 이중 챔버 플라즈마 소스 (dual-chamber plasma source) 는 활기 넘치는 플라즈마를 제공하여 챔버에 남은 최소한의 가스로 에치 프로파일을 생성한다. LAM RESEARCH 2300 Exelan (LAM RESEARCH 2300 Exelan) 은 직관적이고 직관적인 터치스크린 디스플레이를 통해 모든 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스 할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한 다양한 LAM RESEARCH 인증 프로그램과 빠르고 쉽게 통합할 수 있으며, 원격 시스템 모니터링, 데이터 수집 자동화 등의 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan은 최대 안전을 위해 설계되었습니다. 비상 셧다운 장치 (Emergency Shutdown Unit), 다중 인터 록 (Multiple Interlock) 및 중복 압력 모니터 (Redundant Pressure Monitor) 를 포함한 여러 개의 독립적 인 안전 기능이 또한, 고품질 구조에는 강력한 진동 격리 (strust vbration isolation) 및 고급 냉각기 (advanced cooling machine) 가 포함되어 전자 빔이 항상 정확한 기판 위치를 가리키고 있는지 확인합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 엑셀란 (Exelan) 은 엔지니어의 도움을 최소화하여 다양한 복잡한 기판을 빠르고 정확하게 에치 및 처리하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan은 독립적 인 기판 처리 도구, 이중 챔버 플라스틱 소스, 직관적인 사용자 인터페이스 및 다중 안전 기능을 통해 대규모 전자 제품 및 부품을 에칭하는 데 이상적인 선택입니다.