판매용 중고 LAM RESEARCH LF 4500 #9245075

LAM RESEARCH LF 4500은 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 애싱 작업에 사용되는 고급 에칭/애싱 도구입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 RIE 및 애싱 어플리케이션을 위한 고급 프로세스 유연성을 갖춘 뛰어난 성능을 제공합니다. LF 4500은 대용량 로드록 (loadlock) 과 빠르고 정확한 레시피 소프트웨어를 갖춘 고속 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 를 포함한 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 이 etcher/asher에는 멀티존 엔드 포인트 검출기가 장착되어 있어 빠른 챔버 클리닝 및 더 효율적인 프로세스가 가능합니다. LAM RESEARCH LF 4500은 하나의 도구에서 에칭 및 애싱 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. LF 4500의 에칭 작업은 SF6 및 O2 가스 혼합물을 사용하여 수행된다. Etch 속도는 사용 중인 프로세스 및 기판 유형에 따라 조정할 수 있습니다. LAM RESEARCH LF 4500은 변동성이 거의없는 고정밀 에칭을 제공 할 수 있습니다. LF 4500은 또한 빠른 애싱 (ashing) 및 고정밀 스테인리스 (stainless) 애셔 옵션을 포함한 다양한 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 에처/애셔는 화학적 재싱을 달성하기 위해 온수 욕조의 플루오로 유기 증기를 사용합니다. 이 방법은 챔버 청결성과 일관된 프로세스 결과를 잘 제어합니다. LAM RESEARCH LF 4500은 완전히 통합되고 사용하기 쉬운 레시피 소프트웨어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 작업을 위한 레시피를 빠르게 프로그래밍할 수 있으므로 원하는 프로세스 결과를 쉽게 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 보다 효과적으로 제어할 수 있는 고급 프로세스 제어 기능도 포함되어 있습니다. 전반적으로 LF 4500은 안정적이고 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 강력한 프로세스 유연성, 정확한 에치 속도, 빠른 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 제공합니다. LAM RESEARCH LF 4500의 고성능 기능과 사용이 간편한 레시피 소프트웨어 (recipe software) 를 통해 사용자는 다양한 트리밍, 금속화, 모스펫/마스크 개방 처리 어플리케이션에서 빠르고 안정적으로 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다.