판매용 중고 LAM RESEARCH Kiyo #9314591

LAM RESEARCH Kiyo etcher/asher는 얇은 필름의 물리적 제거 및 기판 재료의 에칭에 사용되는 장치입니다. Kiyo는 반도체, 다층 필름, 금속 및 복합물과 같은 재료의 정밀 처리를 가능하게합니다. 사용자는 견고한 플랫폼을 통해 높은 생산성 (production revield) 을 유지하면서 탁월한 성과를 거둘 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo는 완전 자동화 된 자체 서보 제어 장비이며 완전한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 시스템에는 에칭 프로세스 매개변수 (etching process parameters) 를 제어하기 위한 소프트웨어 인터페이스가 포함되어 있으므로 최소 연산자 개입으로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 모든 관련 매개변수는 하나의 직관적인 소프트웨어 창에서 모니터링되고 조정됩니다. 키요 (Kiyo) 는 또한 다양한 유형의 재료를 효율적으로 에칭하는 고성능 에칭 챔버를 갖추고 있습니다. 이 약실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며 직경 이 최대 2" 인치' 에 달하는 넓은 활개 의 면적 을 갖추고 있으며, 넓은 "에칭 '가능성 을 제공 한다. 후면 에칭 (backside etching) 의 위험을 줄이기 위해 유리 창 덮개를 사용하여 웨이퍼 뒷면을 보호합니다. LAM RESEARCH Kiyo의 고해상도 이미징 장치는 에칭 패턴을 잘 보여줍니다. 이 시스템에는 CCD 카메라와 LED 조명이 포함되어 있으며 에지 향상 (edge enhancement), 자동 이미지 인식 (automated image recognition) 과 같은 사용자가 구성할 수 있는 기술도 포함되어 있습니다. Kiyo는 기존의 습식 에칭 프로세스와 비교하여 초고품질 에칭을 달성 할 수 있습니다. 이것은 정확하고 일관된 프로세스 매개변수를 제공하는 지능형 제어 도구 (Intelligent Control Tool) 와 같은 다양한 기술 기능, 강력한 고성능 고류 드라이 진공 펌프 (High-Flow Dry Vacuum Pump) 및 고용량 플라즈마 소스 (Plasma Source) 로 인해 뛰어난 에칭 성능을 보장합니다. 이러한 모든 기능을 통해 LAM RESEARCH Kiyo는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 선택으로, 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능이 필요한 모든 프로세싱 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.