판매용 중고 LAM RESEARCH Kiyo #9298588

LAM RESEARCH Kiyo는 다양한 대용량 응용 프로그램에서 탁월한 에칭 및 애싱 기능을 제공하도록 설계된 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 최첨단 기술을 활용하면 가장 까다로운 대용량 생산 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). Kiyo는 ASMP (Advanced Source-Monitor Polarity) 기술과 독특한 MPAE (Multi-Point Arc-Assisted Etch) 를 사용하여 탁월한 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. ASMP는 LAM RESEARCH Kiyo에게 바이어스 전압 (bias voltage) 과 소스 전류 (source current) 의 조합에서 동일한 에칭 도구를 사용할 수있는 기능을 제공하여 새로운 에칭 도구 없이도 복잡한 설계 변경을 허용합니다. MPAE (The MPAE) 는 기판 전극과 에칭 도구 사이에서 시작된 독특한 전기 호 (arc) 공정으로, 가스 분자를 소스 모니터로 전달하는 데 더 높은 정확도와 신뢰성을 갖습니다. 이 기능은 프로세스 반복성과 효율성을 추가로 제공합니다. 키요 (Kiyo) 에는 에칭 및 애싱 (ashing) 시 최적의 온도 안정성을 보장하는 통합 온도 조절 챔버가 있습니다. 이는 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 보장하며 프로세스 중 기판 손상 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH Kiyo는 직경이 최대 8 ", 웨이퍼 두께가 최대 200 미크론까지 에치 및/또는 애셔링 웨이퍼를 에칭 할 수 있습니다. 고밀도 에칭, 단일 레벨 에칭, 다중 레벨 에칭 및 하위 미크론 에칭이 가능합니다. Kiyo는 보다 전통적인 옵션에 비해 몇 가지 장점을 제공하는 모든 기능을 갖춘 도구입니다. 고급 소스 모니터 (source-monitor) 극성 기술과 다중 계층 에칭 (multilayer etching) 구조는 가장 필요한 프로세스 기능을 대상으로 하며, 다중 도구 설정의 필요성을 줄이고 처리량을 높입니다. 정밀 에칭 (eching) 은 매우 높은 수율을 가능하게하며, 소형 모양과 작은 발자국은 소형 재 작업 스테이션이나 실험실에 적합합니다. 결론적으로, LAM RESEARCH Kiyo는 기능 측면에서 펀치를 포장하는 에처/애셔 (etcher/asher) 이며 다양한 대용량 응용 분야에 이상적입니다. 고정밀 에칭, 우수한 에치 앤 애쉬 성능, 온도 안정성, 유연한 설계 구조를 제공합니다. Kiyo는 모든 실험실을위한 신뢰할 수 있고 효율적인 도구가 될 것을 약속합니다.