판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9282805

LAM RESEARCH Kiyo는 LAM RESEARCH에서 설계 및 제조 한 최첨단 고출력 유전체/애셔입니다. 추가 처리 전에 웨이퍼 클리닝 및 준비를위한 전통적인 습식 에칭 (wet etching) 및 드라이 애싱 (dry ashing) 프로세스를 모두 지원합니다. 키요 (Kiyo) 는 혁신적인 디자인, 듀얼 스테이지 프로세스 기능, 균일성 향상을 위해 회전 가능한 척 (chuck) 으로 인해 높은 정확도의 유전체 에칭/애싱을위한 훌륭한 도구입니다. 질화물, 산화물 필름, 하이-k 메탈 게이트 스택과 같은 다양한 유전체 물질을 에칭 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo는 단일 웨이퍼 또는 포드 처리 구성으로 제공되며, 최대 챔버 크기는 331mm, 최대 베이크 플레이트 온도는 500 ° C입니다. 키요 (Kiyo) 는 강력한 임베디드 작업셀 컨트롤러로, 빠른 웨이퍼 로드 시간과 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 작업셀에는 독점적 인 VSC (Virtual Substrate Control) 시스템이 제공되어 반복 가능한 기판을 보장합니다. 또한 이 컨트롤러는 향상된 프로세스 제어를 위해 온도, 가스 흐름 (gas flow) 과 같은 실시간 웨이퍼 데이터에 대한 액세스를 제공합니다. LAM RESEARCH Kiyo는 쉽고 안전한 유지 보수 및 서비스를 위해 설계되었습니다. 챔버에는 이중 압력 포트가 장착되어 있어 단일 포트 챔버 (single-port chamber) 보다 빠른 프로세스 사이클을 제공합니다. 또한 LAM Clean Chamber 소프트웨어를 통해 자동화된 청소 기능을 사용할 수 있어 유지 보수 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한 Kiyo는 고정밀 온도 조절, 다중 가스 기능, 낮은 입자 성능 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH Kiyo는 정확한 웨이퍼 준비를위한 신뢰할 수있는 도구이며, 지속적으로 고품질 유전체를 생산할 수 있습니다. 수율 변이 및 최대 견고성을 줄여 우수한 품질 복제 기능을 제공합니다.