판매용 중고 LAM RESEARCH Kiyo #9282757
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판매
ID: 9282757
Poly etcher
(3) Chambers (PM2, 3, 4)
With microwave (PM1)
MF (EFEM / TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS A419-42-212 IPump (Ontool pump)
(4) GE 605-109114-001 CPU
(4) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(4) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
WATLOW 778-900046-701 Temperature controller
(3) WATLOW 778-900046-301 Temperature controllers
(3) LAM RESEARCH 810-495659-006 ESC Power supplies
(3) OCEAN OPTICS 685-801852-002 OES
MKS VDMB-23398 VODM
ASTEX AX2630NRC3-Q Microwave source
(3) LAM RESEARCH 839-019090-328 ESC
IGS Gas box
Gas line:
(3) Gas 12 HORIBA Z300
(3) Gas 11 LAM RESEARCH 797-026724-303
(3) Gas 10 HORIBA Z300
(3) Gas 9 LAM RESEARCH 797-026724-508
(3) Gas 8 HORIBA Z300
(3) Gas 7 LAM RESEARCH 797-026724-509
(3) Gas 6 HORIBA Z300
(3) Gas 5 HORIBA Z300
(4) Gas 4 HORIBA Z300
(3) Gas 3
(3) Gas 2 LAM RESEARCH 797-026724-525
(3) Gas1 LAM RESEARCH 797-0267724-624
(3) MKS 649A-25014 He UPC
UNIT UFC1661 O2
UNIT UFC1661 N2
(3) MKS E28B-23747 Process guages
HPS 109070019-CE TM vacuum guage
(2) HASTING HPM 2002 OBE Air lock vacuum guages
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pumps
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pump controllers
(4) ADIXEN ADS1202H PM Dry pumps
(3) RATCHETC BCU-E320F1 Chillers
(3) AE 660-024637-026 BIAS RF Generators
(3) AE 660-900984-008 TCP RF Generators
(3) LAM RESEARCH 848-801420-017 BIAS RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 853-800120-112 TCP RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 834-030822-025 BIAS RF Cables
(3) LAM RESEARCH 834-030819-018 TCP RF Cables.
LAM RESEARCH Kiyo는 반도체 웨이퍼 제조 및 기타 관련 응용 분야에 이상적인 고효율, 비용 효율적인 etch/ash 장비입니다. 고효율 쿼츠 튜브 (quartz-tube) 플라즈마 소스를 장착하여 반복성이 향상된 이전 솔루션보다 4 배 빠른 속도로 에칭을 용이하게합니다. 기요 (Kiyo) 는 오염을 최소화해야 하는 혁신적인 디자인 덕분에 오염을 조절할 수 있는 장점도 제공합니다. 이를 통해 공정 및 미립자 오염 모두 매우 낮은 수준에 도달 할 수 있습니다. 또한 하나의 시스템으로 여러 웨이퍼 (wafer) 처리 단계를 수행할 수 있게 해 주며, 따라서 공구 유지 관리 및 주기 시간 (cycle time) 이 줄어들어 상당한 비용이 절감됩니다. LAM 리서치 키요 (LAM RESEARCH Kiyo) 의 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 wafer 프로세싱의 속도 및 품질 향상 외에도 운영자가 최적의 성능을 위해 장치를 쉽게 프로그래밍하는 반면, 고급 안전 기능은 유해 물질로부터 향상된 보호를 제공합니다. 이 기계는 초정밀 전압 및 압력 제어 (pressure control) 와 저온 작동 (low temperature operation) 을 통해 높은 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. 키요 (Kiyo) 는 다양한 금속, 중합체, 규산염에서 실리콘 카바이드, 질화물 등 가장 식각하기 어려운 물질에 이르기까지 다양한 물질을 처리하도록 구성 될 수있다. 또한, 즉석에서 프로그래밍 가능한 레시피, 자동 레시피 전송 (automated recipe transfer) 과 같은 기능 덕분에 프로덕션 실행에 원활하게 배포할 수 있습니다. 이 툴은 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 진단 (Diagnostic) 기능도 제공하므로 사용자가 신속하게 오류를 파악하고 수정할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Kiyo (LAM RESEARCH Kiyo) 는 경제적인 비용으로 업계 최고의 기능을 제공하는 놀라운 고급 에칭 자산입니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 교육을 단순화할 수 있으며, 탁월한 속도와 품질을 자랑하는 제품으로, 생산 주기가 짧고, 품질이 뛰어난 제품을 필요로 하는 기업에 이상적인 솔루션입니다.
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