판매용 중고 LAM RESEARCH KIYO FX #293819375

LAM RESEARCH KIYO FX는 전 세계 반도체 제조 요구 사항을 충족시키기 위해 개발 된 고성능, 고용량 에처/애셔 솔루션입니다. 이 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비는 반도체 산업 전반에 걸쳐 사용되는 다양한 에칭 및 에칭/어싱 프로세스에 대해 업계 최고의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. KIYO FX는 다양한 디지털 소재의 여러 계층에 대한 낮은 스트레스 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 제공하여 향상된 수율과 품질을 제공합니다. 이 시스템은 디지털 컨트롤러를 사용하여 시간이 지남에 따라 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스의 균일성을 유지하고 배치 (batch) 에서 배치 (batch) 까지 일관성을 제공합니다. LAM RESEARCH KIYO FX에는 고급 Dry Etch/Asher 모듈이 장착되어 있으며, 에칭 및 애싱 프로세스 모두에 향상된 처리량 및 향상된 처리량 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 에칭/어싱 프로세스는 에칭/어싱 중인 특정 레이어 및 재료에 맞게 조정됩니다. 이 장치는 반도체 응용 프로그램에서 최대 95% 의 에치 레이트와 최대 60% 의 애쉬 레이트를 제공 할 수 있습니다. KIYO FX는 강력한 에칭/애싱 (etching/ashing) 모듈 외에도, 에칭 및 애싱 프로세스 동안 성능과 효율성을 향상시키는 여러 가지 다른 기능도 제공합니다. LAM RESEARCH KIYO FX는 매우 정밀한 초고주파 자이로 스코프 및 퀼드 드라이브를 포함하며, 에칭 및 애싱 중 플래튼의 정확한 움직임을 제공합니다. 이렇게 증가된 정확도와 제어는 프로세스 균일성을 크게 향상시키고, 각 레이어를 일관되게 에치 (eched) 및 재시 (ashed) 하는 데 도움이 됩니다. KIYO FX (KIYO FX) 에는 기계가 실행되기 전에 주어진 프로세스에 가장 적합한 에칭/애싱 매개변수를 결정하는 데 도움이 되는 사용자 정의 측정 도구가 포함되어 있습니다. 이것은 에칭 (etching) 과 어싱 (ashing) 전후에 균일성을 측정하고 통일성을 해소하여 정확성 검증 및 프로세스 최적화에 대한 데이터를 제공함으로써 수행됩니다. LAM RESEARCH KIYO FX는 수동 및 자동 프로세스를 모두 위해 설계되었으며, 여러 가지 작동 옵션을 제공합니다. 이 도구는 사용자가 설정하고 저장할 수 있는 다양한 사용자 정의 가능한 패라메트릭 (parametric) 레시피 (레시피) 를 사용하여 자동화할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 통합 데이터 수집 및 보고 (reporting) 프로세스를 통해 프로세스 결과에 대한 전체 평가를 가능하게 합니다. KIYO FX는 탁월한 처리 속도와 균일성을 제공하는 에칭 앤 애싱 (eching and ashing) 모델로, 향상된 수율과 프로세스 최적화를 지원합니다. LAM RESEARCH KIYO FX는 디지털 컨트롤러, 고급 에칭/애싱 모듈, 플래튼 (platen) 의 정확한 이동, 데이터 수집 및 보고를 활용하여 여러 계층의 디지털 재료로 작업하는 제작자의 에처/애셔를 위한 이상적인 솔루션을 제공합니다.