판매용 중고 LAM RESEARCH KIYO FX #293791061

LAM RESEARCH KIYO FX는 Plasma Etch 그룹의 최첨단 에치/애쉬 기술을 기반으로 구축 된 강력한 에처/애셔 솔루션입니다. KIYO FX는 에칭 및 애쉬 프로세스 단계에서 높은 처리량, 깨끗하고 균일한 결과를 얻도록 설계되었습니다. 반도체 웨이퍼 기판 에칭, MEMS/NEMS/MOEMS 장치 에칭, 나놀리토 그래피 및 사진 리토 그래피, 마스크 패턴 및 기타 포토 마스크 재료 등 다양한 에칭 및 애싱 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. LAM RESEARCH KIYO FX는 고품질 표면과 균일 한 에치 프로파일을 생성하는 혁신적인 저압 반응성 이온 에칭 (RIE) 기술을 갖추고 있습니다. 장비는 활성 (active) 및 펄스 (pulsed) 모드 에칭을 모두 사용하며, 이는 서브 미크론 스케일에서 패턴과 피쳐를 생성 할 수 있습니다. KIYO FX는 또한 마이크로파 플라즈마, 저압 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 딥 리액티브 이온 에칭 (DRIE) 과 같은 다양한 공정 도구를 포함합니다. 배치 내 (within-batch) 및 배치 간 (inter-batch) 변수의 제어 (feature size) 및 에치 균일성 (etch unifority) 과 같은 중요한 매개변수의 정밀도가 높은 중간에서 고속 에칭 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH KIYO FX는 자동화 기능, 온도 조절, 어플리케이션 모니터링, 프로그래밍 가능한 데이터 로깅 등 다양한 프로세스 향상 기능으로 설계되었습니다. 염소, 산소 및 아르곤을 포함한 혁신적인 공정 가스는 우수한 에치 성능을 보장합니다. 이 시스템은 또한 프로세스 품질을 최적화하는 데 도움이 되는 고해상도 비전 (High-resolution vision) 장치와 압력, 흐름 속도, 온도, 기타 관련 매개변수와 같은 중요한 프로세스 매개변수를 기록하는 데이터 로깅 머신 (Data Logging Machine) 을 갖추고 있습니다. KIYO FX는 다양한 재료에 적합한 높은 처리량, 저압 에칭 및 재 성능을 제공합니다. 강력하고 신뢰할 수있는 플랫폼은 유전체 필름 (dielectric film) 에서 금속 (metal) 에 이르기까지 여러 재료, 심지어 거친 재료 조합으로 작동 할 수 있으므로 고급 제작 및 장치 제작에 이상적인 에칭 솔루션입니다.