판매용 중고 LAM RESEARCH KIYO FX #293729509

LAM RESEARCH KIYO FX는 반도체 프로세싱을위한 고급 기능을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 특히 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 높은 정확도, 신뢰성 및 혁신적인 기술로 유명한 LAM RESEARCH Kiyo 시리즈 제품의 일부입니다. KIYO FX (KIYO FX) 는 에칭 (Etching) 프로세스와 애싱 (Ashing) 프로세스를 모두 하나의 플랫폼에서 결합한 다용도 툴로서, 반도체 제조업체에 중요한 장치 제작 단계를 위한 비용 효율적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 설계 및 엔지니어링을 통해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으므로 프로세스 균일성 (unifority), 에치 속도 (etch rate) 및 선택성 (selectivity) 이 뛰어납니다. LAM RESEARCH KIYO FX의 주요 기능 중 하나는 듀얼 모드 기능으로, 사용자가 에칭 (etching) 프로세스와 애싱 (ashing) 프로세스 사이를 원활하게 전환할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 시스템은 MEMS 장치의 깊은 실리콘 에칭 (Deep Silicon Etching) 에서부터 고급 논리 및 메모리 장치의 중요한 포토레지스트 (Photoresist) 스트리핑까지 다양한 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. 이 장치에는 반응성이 높은 플라즈마 환경을 생성하는 고성능 플라즈마 소스 (Plasma Source) 가 장착되어 있어 빠르고 균일한 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 달성하는 데 필수적입니다. 플라즈마 소스 (Plasma Source) 는 다양한 전력 수준 및 가스 유속 (Gas Flow Rate) 으로 작동 할 수 있으므로 특정 제조 요구 사항을 충족하기 위해 프로세스 조건을 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 강력한 플라즈마 소스 외에도, KIYO FX는 정교한 웨이퍼 처리 머신 (wafer handling machine) 을 갖추고 있어 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 웨이퍼 위치와 정렬을 보장합니다. 이 도구는 우수한 프로세스 제어 및 재현성을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 간의 변동성을 최소화하고 높은 프로세스 수율을 보장합니다. LAM RESEARCH KIYO FX는 또한 실시간 엔드포인트 감지, 프로세스 매개변수의 현장 모니터링, 고급 레시피 관리 기능 등 고급 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스 성능을 최적화하고, 도구 가동 시간을 극대화하고, 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 자산은 운영 중 최고 수준의 운영자 안전을 보장하기 위해 자동 가스 전달 시스템 (Automated Gas Delivery System), 연동 시스템 (Interlock System) 및 긴급 종료 메커니즘 (Emergency Shutdown Mechanism) 을 포함한 업계 최고의 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한, KIYO FX는 환경 보호 및 안전에 대한 업계 표준 및 지침과 완벽하게 호환됩니다. 전반적으로 LAM RESEARCH KIYO FX는 반도체 제조업체에 고급 장치 제작 프로세스에 대한 신뢰할 수있는 고성능 솔루션을 제공하는 최첨단 에처/애셔 모델입니다. KIYO FX 는 첨단 기술, 정확한 프로세스 제어, 다용도 (versitile) 기능을 갖춘 반도체 업계의 다양한 애플리케이션에 적합하므로 고품질, 고수율 반도체 (HP) 장치 구현에 필수적인 툴입니다.