판매용 중고 LAM RESEARCH KIYO FX STRIP #9311232

LAM RESEARCH KIYO FX STRIP은 작은 공간에서 정밀 에치/애쉬 프로세스를 제공하는 고급 에치/애쉬 32 비트 장비로, 대용량 생산 가능 응용 프로그램에 적합합니다. 유연한 플랫폼 인 키요 FX 스트립 (KIYO FX STRIP) 은 유전체 에칭 및 BEOL 프로세스뿐만 아니라 딥 에치 (deep etch) 및 얕은 재 응용 프로그램과 관련된 증가 된 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 최대 처리량 (throughput) 및 레시피 (recipe) 기능을 제공하여 다양한 멀티 레이어 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 스케줄링 및 고급 프로세스 흐름에 사용할 수 있으므로 통합 장치 구조와 관련된 엄격한 공차를 수용할 수 있습니다. 이 제품은 확장 가능한 레시피 데이터베이스로 제작되었으며, LAM 의 SEMI-ES7 컴퓨터 장비 제어 시스템 중 최고급 (Computerized Equipment Control System) 과 고급 진공 시스템 기술 및 프로세스 제어 기능을 결합했습니다. LAM RESEARCH KIYO FX STRIP에는 자동화 된 프로세스 엔드 포인트 검출기, 자동 영역 전원 제어, 프로그래밍 가능한 프로세스 시간 제어, 자동 웨이퍼 세척 기능 등 고급 프로세스 액세서리가 있습니다. 저전압 전원 공급 장치 (low-voltage power supply) 는 저전압에서 정밀 에칭을 보장하여 에치 프로세스의 불규칙성을 방지합니다. 또한, 이 장치는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 호환되며, 다양한 애플리케이션에 적합한 모듈식 플랫폼을 갖추고 있습니다. KIYO FX STRIP은 (는) 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공하는 강력한 프로세스 시각화기를 통해 운영자가 프로세스를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 Reporting 기능을 통해 운영자는 각 실행 전에 프로세스를 분석하고 세밀하게 조정할 수 있습니다 (영문). 프로세스 모니터링, 하드웨어 구성 요소 모니터링, 온도 제어 (temperature control), 프로세스 자동 제어 (automatic process control) 등의 기능을 통해 프로세스 변수를 변경하고 프로세스 주기를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH KIYO FX STRIP은 작은 공간에서 정밀 에치/애쉬 프로세스를 제공하는 고급 에처/애셔 머신입니다. 자동화된 프로세스 종단점 검출기와 같은 다양한 유용한 프로세스 액세서리를 자랑합니다. 존 (Zone) 전원 제어, 웨이퍼 워시, 통합 보고 및 프로세스 시각화 기능 깊은 에치, 얕은 재, 유전체 에칭 및 BEOL 프로세스를 제공합니다. 프로세스 변수 변경과 설정 시간 단축에 대한 신속한 대응, 대용량 운영 지원 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.