판매용 중고 LAM RESEARCH Kiyo EXP #293642656

LAM RESEARCH Kiyo EXP는 고밀도 플라즈마 기술을 사용하여 생산 환경에서 우수한 플라즈마 에치 성능을 제공하는 에치/애셔입니다. 이 장치는 넓은 플라즈마 에치 범위를 가진 4 개의 RF 소스를 사용하여 Si, SiO2, SiN, SiON, GaN, UV 등을 포함한 다양한 재료를 정확하고 유연한 에칭할 수 있습니다. 이 장치는 또한 정밀 플라즈마 청소 및 증착 기능을 가지고 있으므로 많은 생산 및 R&D 응용 프로그램에 이상적입니다. 키요 엑스프 (Kiyo EXP) 의 플라즈마 에칭 공정은 빠르고 정확하며, 재료 에칭 속도와 특징 지형을 잘 제어합니다. 이 고정밀 에칭은 딥 미크론 기능에 대한 정확한 깊이 제어를 가능하게합니다. 또한 LAM RESEARCH Kiyo EXP (LAM RESEARCH Kiyo EXP) 는 전체 웨이퍼 표면에 대한 에칭 가스의 균일 한 분포를위한 고급 장비를 갖추고 있으며, 균일 한 에치 레이트와 측면 벽 각도를 제공합니다. 키요 EXP (Kiyo EXP) 의 고급 자동화는 프로세스, 재료, 매개변수의 올바른 조합이 etch 또는 clean 단계에 사용되도록 합니다. 각 절차에 대해 서로 다른 프로그램, 레시피, 미리 정의된 매개변수를 저장할 수 있으며, 필요에 따라 리콜하여 사용할 수 있습니다. 또한 디지털 I/O, 자동 조정, 웨이퍼 방향 조정과 같은 추가 기능도 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo EXP의 자동 자체 진단 모니터링 시스템은 장치 상태 및 작동 상태를 지속적으로 검사하여 실시간 프로세스 최적화를 허용합니다. 또한 사용자는 이더넷 프로토콜 서버를 통해 보안 이더넷 (Ethernet) 네트워크를 통해 원격으로 데이터를 액세스할 수 있습니다. 결국, Kiyo EXP는 생산 및 연구 응용 프로그램에 이상적인 안정적이고 효율적인 에칭/애쉬 플랫폼입니다. LAM RESEARCH Kiyo EXP는 고정밀 에칭 기능, 유연성, 안전한 원격 데이터 액세스 및 자동 상태 모니터링을 통해 시장에서 최고의 플라즈마 에치/애쉬 시스템 중 하나입니다.